JSM-6390系列扫描电镜性能介绍.doc

数字化扫描电镜JSM-6390系列主要性能简介 JSM-6390钨灯丝扫描电镜，是日本电子株式会社在2006年1月10日推出的最新型号的数字化扫描电镜。是在近几年销售名列前茅深受好评的JSM-6360, JSM-6380的基础上，将电子光学系统进行技术革新，并保留了JSM-6360、JSM-6380良好的操作界面和出色稳定的控制系统，堪称世界上最先进的扫描电子显微镜。主要特点为全数字化控制系统，高分辨率、高精度的变焦聚光镜系统、全对中样品台及高灵敏度半导体背散射探头、丰富的成像模式等；用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。该型号在很多大学、研究院所及制造业被广泛使用。该系列有四种型号JSM-6390 JSM-6390LV JSM-6390A JSM-6390LA 高真空扫描电镜高低真空扫描电镜高真空分析型扫描电镜，能谱一体化高低真空分析型扫描电镜，能谱一体化价格为11万美元 价格为1万美元价格为16万美元价格为1万美元请参考用户名单。 电子光学系统的特点 1.分辨率 (Resolution) 高真空模式：3.0nm（30kV），8.0nm（3kV），15nm（1kV）， JSM-6390LV既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像。 在低电压下提供的分辨率是世界上最高的分辨率指标，对于非导体样品观察意义重大。 2.全自动电子枪 (Fully Automated Electron Gun) 当真空度达到要求后，只需按下HT按钮，加速电压的提升、灯丝的加热及图像的自动出现全部自动完成。栅偏压和消像散的自动记忆功能均自动实现。 3.大视野观察范围（Large Field of View） 最低的放大倍数可达5倍，可观测到24mm见方的样品，便于用户分析寻找样品。 4.高精度的变焦聚光镜系统 (Precision Zoom Condenser lens) 探测电流发生变化时，图像的聚焦状态可保持不变。 5.超级圆锥形物镜 (Super Conical Objective Lens) 超级圆锥形物镜允许样品在较小的工作距离下，得到较大的倾斜角。在10mm WD的距离下，完成能谱的分析工作的同时可得到高分辨的图像。 6.高灵敏度半导体背散射探头 (High sensitivity semiconductor detector) 此探头是日本电子的专利产品，它可提供三种图像：成分像、形貌像和立体像。 7.全对中的样品台 (Eucentric Stage) 这种样品台保证样品或倾时，被观察点聚焦状态不变,而且JSM-630在任何工作距离下均能保持这种功能。 8.大样品室 (Large specimen chamber) JSM-6390可对直径为(150mm)的样品进行直接观察。 .样品观察条件自选 (Smart settings for common samples) JSM-6390LV针对不同种类的样品设定了最佳光学参数，用户可以根据样品的种类选择、迅速到达最佳观察状态。 10. 多种成像模式(Multi display) JSM-6390LV可以同时显示二次电子图像和背散射电子图像。并且在某一种信号图像上任一区域显示另一种信号图像，对于更好地研究研究样品形貌和结构提供方便的功能。 11. 混合信号功能(signal mixing) JSM-6390LV可以将二次电子和背散射电子信号按照任意比例混合，以期得到最佳成像效果。 12.各种探测探头的选配(Variety of Detectors Mounted) 可以同时选配能谱、波谱和EBSD探头等。特别是二次电子探头、能谱和EBSD探头放在同一个区域，可以同时对样品的形貌、成份和结构进行研究，非常方便。 二、数字化图像的输出 JSM-6390中，数字化图像已完全取代模拟图像，这为图像处理提供了基础。图像可以方便地通过计算机进行存储，也可将图像存入光盘或打印。随机通常提供图像处理软件，可对图像进行分类管理、存储、排版和测量等功能。 (Low Vacuum SEM) 常规电镜要求被分析的样品具有良好的导电性，否则需在观察前进行表面喷碳和溅射金属的预处理。样品自然状态的观察成为人们追求的目标，为此，日本电子推出了低真空扫描电镜，在低真空状态下，对非导体样品进行直接观察和能谱分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等部门，低真空技术有着突出的作用，对于生物样品，如组织、脂肪、花粉和根茎等，经我们特有的简单处理后，也可直接观察。 低真空扫描电镜同时可作为高真空扫描电镜来使用，事实上，二者之间的切换只需按钮切换来实现的。 三、扫描电镜的基本配置及价格 通常我们提供的扫描电镜的构成包括了：主机单元、必不可少选件和选件部分。主机单元包括