薄膜材料工程学-最终版.ppt

薄膜材料工程学 周春根 课程主要章节 第一章：序论 第二章：真空技术基础 第三章：薄膜的物理气相沉积 —溅射法 第四章：真空蒸发 第五章：薄膜的化学气相沉积 第六章：薄膜的力学性能 第七章：金属薄膜的电导 第八章：薄膜的形成和生长 第一章：序论 第二章 真空技术基础 2.1：真空的基本知识 2.1：真空的基本知识 第三章 薄膜的物理气相沉积 ——溅射法 第四章 真空蒸发 第五章 薄膜的化学气相沉积 第六章 薄膜的力学性能 薄膜的力学性能主要包括： ＊附着性能 ＊内应力 ＊弹性、强度和硬度。 设点(x,y)处的扩散通量矢量为 体积元内反应物浓度变化率为 最后得到的沉积速度为： 根据此式知，沉积速度见随着距离呈指数下降趋势 提高沉积均匀性采取的措施 ⑴提高气体流速和装置的直径尺寸b ⑵调整装置内温度分布，从而影响扩散系数D 的分布 5.3.2温度对沉积速度的影响 设在生长中的薄膜表面形成了界面层，其厚度为δ，Cg和Cs分别为反应物的原始浓度和其在衬底表面的浓度。扩散至衬底表面的反应物通量为 衬底表面消耗的反应物量为： Js=KsCs 平衡时两个通量应相等，即 当KsD/δ时，Cs≈0 扩散控制沉积过程 当KsD/δ时，C