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psd的光电响应特征及其在杨氏模量测量中的应用 psd photoelectric responses characters and its application in measuement of youngs modulus

2007年第26卷第6期 传感器与微系统(Tmsducer彻dMicF嘴yst锄1khnoIogi∞) 5l PSD的光电响应特征及其在杨氏模量测量中的应用 崔青义,王亚伟,洪云,卜敏,刘 莹 (江苏大学理学院。江苏镇江2l加13) 摘要:针对目前大学教学中较为广泛应用的材料杨氏弹性模量测量方法和测量结果准确性方面存在的 问题,对位置敏感探测器(PsD)的光电响应特性进行了系统的分析与研究,并利用此响应特征,基于杨氏 弹性模量静态测量方法与原理,设计了两次复式光放大的新型传感方式,应用PSD作为微量位移测量的 传感器,在小空问内实现了微测量放大的作用,使杨氏弹性模量测量结果的精度提高了1个数量级。 关键词:位置敏感探测器;测量;杨氏弹性模量 中图分类号:0436.2 文献标识码:A 文章编号:1000一9787(2007)06一0051—03 PSD charactersits photoelectricresponses andapplication inmeasuementof modulus Y0ung’s CUI Qing—yi,WANGYa-wei,HONGYun,BUMin,LIUYing of (F删ty scie峨,Jian卿U咖ersi哆,助e面ia甥212013,China) fhthe intlle me山0d8of thatamabmad一 Abstract:comideringshonageme船uring他sIllts粕d Y叫ng’s麒,dulll8 in PSDam 印pliedcouegeeducati明.Fi璐t,tIle瑚pon8髓chamcter售ofsy8tematicallystIldied,inaddition,a—n删 舱ns甜0f i8 chamcte鹅0f me山0dof PSD锄d8t砒ic two一姗plificatoryde8ignedb∞ed∞tIle瑚p‘m∞s II地髓uring whichaPsDi8u∞dfor fiIlishedina Y叩Ilg’smodulu8,in m嘲uriIIg micro-displace啪nt,sotht舢plificati佣is smallwork 0f oneorderof place,atl鹪t,theprecision meas埘ng瑚ults啪impmver曲gnitude. modIIl咖 Keywords:positi彻舱nsitivedetector(PSD);m嘲u坞ment;YouIIg’s O弓I言 提出了一种基于PsD的光斑重心精确响应的响应特性,通 杨氏弹性模量是描述固体材料抵抗形变能力的重要物 过对原光放大测量的传感方法和测量技术方案的改进,应 理量,是工程技术中常用的设计参数之一。测量杨氏弹性 用P

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