低真空封装的新型变电容面积mems惯性传感器队跃响应特性分析 study of inertial step response of a novel mems capacitive accelerometer with variable areas in low vacuum.pdfVIP

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2017-10-14 发布于上海
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低真空封装的新型变电容面积mems惯性传感器队跃响应特性分析 study of inertial step response of a novel mems capacitive accelerometer with variable areas in low vacuum.pdf

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低真空封装的新型变电容面积mems惯性传感器队跃响应特性分析 study of inertial step response of a novel mems capacitive accelerometer with variable areas in low vacuum

第22卷第3期传感技术学报 v01．22No．3 OFSI蚤ISORSANDACITIATORS 2009年3月 CttINEsEJOURNAL Mar．2009 ofInertial ofaNovelMEMS Study StepResponse withVariableAreasinLowVacuum’ Accelerometer Capacitive Hai-xia CHEN Lin-xil’，YAN2，HUO Jin—danl，DONG Wei—hon91，LIYong-jiel，SUNLing—lin91 ，1．theKeyLaboratoryofRFCircuitsandSystemofMinistry 310018。China；、、2．Toshiba 311504，China ， Hydro-ElectroEquipmentsCompany，Hangzhou Abstract：AnewkindofMEMS inertialsensorwithvariable areaisinsensiblewith capacitive overlapping the of workunderamuch thecombsandcan withtraditional non-parallel largertestingvoltagecompared comb sensor．Aninertial ofMEMSarea response accelerometerwith capacitive step changedcapacitive combsis theair inlOWvacuum。andtherelationbetweenthe non·parallelanalyzedconsideringdamping andthe ofthesensorwithdifferentbetweenthecombsand testingvoltage displacementresponse angles the air to effectsofdifferent arealso resultsare pressuredisplacementresponse analyzeThecompared withtheoneofthecomb sensor．Itshowsthattheeffectsof combontheMEMSca— capacitive non-parallel sensorswiththevariable areaaremuchsmaller．Inaddition，thestructure pacitive overlapping designed canworkundera whichis