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基于fpga的多路微位移精确监控系统设计 design of multi-channel micro-displacement precise monitoring system based on fpga
２０１６ 年 ２０１６
第 １期 ．１
FPGA
，，，
（， 100191）
： ，（）。
， Ⅱ ，１２５１
－
。 ， ４．３３～４．３３ μ。 １２．０
Ⅱ９．０：，１６．５２ ０．６％。
：；１２５１；；；；
：２７４ ： ：１００２－１８４１（２０１６）０１－００５６－０３
Design of Multi－channel Micro－displacement Precise
Monitoring System Based on FPGA
－， －， －， －
（Optics and Electronics Institute of Beihang University ， Beijing 100191 ， China）
Abstract ： － －
． １２５１ ，
－ ．－
－
－ ４．３３ μ ４．３３ μ１２．０
９．０ ， ８．２６ ０．６％．
Key words ：；１２５１； ；－ ； ；
［３］
0 量等优点作为微位移的信号敏感元件 。 当发生Δd 的微位
随着微机电系统在现代工业中的飞速发展，微位移的精确监 移，忽略Δd 的高次项，则传感器电容变量ΔC 为
控作为微弱信号检测中的关键技术显得尤为重要。 目前应用广泛 ２ε ε A Δd ２ε ε AΔd
０ ０ Δd
＝ － ＝ ＝
ΔC C１ C２ ２ ２ ≈ ２ ２C０ （１）
的电涡流式、电感式等位移传感器受检测范围、精度和结构复杂的 － d
d０ Δd d０ ０
［１－２］
限制，难以应用于 系统 。 传统的位移检测系统只针对单 式中：ε 为真空中介电常数；ε 为极板间介质的相对介质系数；
０
个传感器，但工业中经常要求同时使用多个传感器，数据传输易互 A 为两极板间相对面积；d０ 为初始间距。
相干扰以致影响微位移检测精度，产生误差。 本文基于差动电容 由式（１）可见，Δd 与ΔC 线性相关，监控电容变量ΔC 即可
传感器，以可扩展多／ 口的 为主控芯片，控制分时采集／ 精确检测微位移Δd 。
转换的输出，通过 与 通信实现多路微位移的精确监 微位移经传感器转换为 量级差动电容信号通过检测电路，
－
控。 系统通过１
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