基于fts柔性铰链支架固有频率的计算研究.pdfVIP

机械工程师 MECHANICALENGINEER 基于FTS柔性铰链支架固有频率的计算研究 任万飞， 林洁琼， 卢明明， 谷岩， 袁光 （长春工业大学 机电工程学院,长春 130012） 针对自由曲面、非回转对称面和微阵列结构功能表面难加工的问题,设计了一种2自由度的快速刀具伺服（FTS）装 摘 要： 置。运用经典的方法计算了FTS柔性铰链的柔度/刚度，进而计算出整个支架的固有频率。利用有限元分析软件对柔性铰链 支架进行了静力学分析和模态分析，得到其变形量和前6阶的共振频率和振型,以更加细致地研究FTS装置并提高整个装 置的加工范围。 FTS;刚度计算;固有频率;有限元分析 关键词： TP391.7;TH123 中图分类号： 文献标志码：A 文章编号：1002-2333（2016）11-0030-03 0 引 言 浙江大学的居冰峰；大连理工大学的张元良,方加宝；上海 近年来，由于精密仪器的光学系统发展迅速，对光学 交通大学的王海峰，马浩全；香港理工大学的李荣彬等国 系统的尺寸的限制越来越严格，进而衍生出对自由曲面、 内的学者对FTS装置的分析也很有深度，但很少看到专门 非回转对称面和微阵列微结构功能表面等加工方面的课 研究装置的固有频率的文章，读过这些学者的文章对本 题。已经有很多加工方法可以对光学元件进行加工，主要 文研究有相当大的启发作用。 包括以下方法：磨削、研磨与抛光、飞切加工、慢刀伺服车 本文设计了一种压电陶瓷驱动的FTS ，从原理上研究 削（Slow Tool Servo,STS ）等；对微结构表面的加工技术， 一下柔性铰链的固有频率的计算问题。固有频率是FTS装 有LIGA 技术、牺牲层刻蚀技术、电子束加工技术、离子束 置的重要的参数之一，它决定了FTS装置的工作带宽，进 加工技术、激光束加工技术以及复制技术等。但是这些技 而限制了装置的加工范围，所以对FTS装置柔性铰链的固 术仍然有它们固有的缺陷，例如加工效率不高，成品率低 有频率的计算研究有深刻重要的意义。 下，能够完成特征尺寸很小、表面质量不高、很难保证面 1 FTS装置的设计与分析 形精度、加工形状受到一定的限制等问题，所以应运而生 1.1 2 自由度FTS装置机械结构整体设计 的快速刀具伺服（Fast Tool Servo,以下简称FTS ）成为解决 设计一种压电陶瓷驱动的2 自由度的快速刀具伺服 这些问题的关键技术。 装置，装置中利用2个压电陶瓷对刀具安装位置进行驱 FTS技术，与STS技术相类似，需要将装置安装在旋转 动，可以实现刀具沿Z轴方向进行高频振动和绕Y轴进行 主轴转角可控的高精密数控金刚石车床上实现，FTS装 转动两个方向进行运动。压电陶瓷A和B输入同样的激励 置与金刚石车床是两套相互独立的系统, 可以使刀具在 信号，刀具平台可以沿着Z向进行运动，如果压电陶瓷A和 沿着Z轴方向上进行高速往复振动切削。其工作频率高， B输入不同的信号，刀具平台就可以绕着Y轴进行转动。 加工速度快，目前在自由曲面、非回转对称面和微阵列微 两个压电陶瓷制动器是通过楔形预紧机构进行预紧的， 结构功能表面等方面加工中应用较多。 尽可能地保证压电陶瓷A和B的预紧力相同。装配如图1 在装置的设计方面许多学者已经设计了多种多样的 右图所示。 机构，有单自由度的和多自由度的FTS系统；多数都采用 对刀是FTS加工中的关键环节，为简化加工对刀准备 压电陶瓷、音圈电机、洛伦兹力、磁致伸缩4种方式驱动 工作，设计对刀装置是很有必要的。对刀的准确与效率对 FTS装置；其中美国麻省理工学院的Trumper, S.Motonishi, 7 15