切片专项培训（一）.ppt

2.2.2压线 原因:操作不慎线头松掉并重新拾起时钢线线头从下一圈钢线中穿过造成放线压线断线。 断口特征:过载颈缩断或竹节状，通常容易伴随切割线痕，切割后废线呈卷曲状。 解决方案:建议在一次断线后，将放线轮上的钢线转掉几百米，可以有效防止出现因操作失误造成压线 2.2.3工字轮毛刺 原因:工字轮上有凿伤痕迹或有毛刺，放线时钢线被刮在其上引起断线(收线轮若有毛刺则会引起收线侧断线)。 断口特征:过载颈缩断或表面损伤。 解决方案:建议在一次断线后，将放线轮上的钢线转掉几百米，可以有效防止出现因操作失误造成压线 2.2.4切割设备影响 原因:收放线轮导线轮磨损过大或被切透;放线轮和收线轮随动性不佳(控制系统故障);张力检测设备故障(张力臂摆动异常)。 断口特征:过载颈缩断或不规则断口。 解决方案:消耗性物品应在每刀切割前检查是否需要更换，定期检查测试收放线轮随动性，切割前检查压缩空气是否正常，编织完线网后加上张力，正反转动几圈，查看是否有异常，定期检查各个传感器是否有问题。 2.2.5收线轮排线质量 原因:收线端排线质量呈桶形引起收线张力急剧跳动。 断口特征:过载颈缩断或不规则断口。 解决方案:调整收线排和线器的工艺参数，检查排线器是否出现机械故障(排线器丝杠要定期检查看是否磨损过大)。 2.2.6砂浆原因造成磨损量过大断线 原因:砂浆配比或者质量影响到钢线携带砂浆量及切削能力，或直接对钢线造成损伤。 断口特征:不规则断口，但可从钢丝磨损后钢线粗糙度、磨损量和表面质量观察到异常。 解决方案:严格按照规定配制砂浆(如烘制金刚砂，砂浆配制室清洁等)。 2.2.7粘胶或硅棒对接质量 原因:粘胶不当，四周去胶不干净;硅棒对接垂直度。 断口特征:不规则断口。 解决方案:将晶棒四周残余的胶水去除干净，晶棒粘完后检查对接是否平行。 2.2.8跳线 原因:钢线在线网上因导轮槽磨损、导轮槽中有杂质、硅棒拼接等原因跳线，导致某些导轮槽内有多根 钢线互相压住引起断线。 断口特征:不规则，有可能表面有刮痕或竹节钢线特征。 解决方案:切割前完全清理导轮槽(压缩空气吹，钢丝刷刷等)，检查导线滑轮是否需要更换。 2.2.9 导轮槽或导线槽有异物 原因:砂浆中混入硬质异物(如碎片等)，或者在导线槽导轮槽内有未清理干净的碎硅渣等，对钢线造成刮伤。 断口特征:不规则断口，但在使用后的钢线表面可观察到刮痕。 解决方案:切割前仔细清理设备(包括导轮槽、各挡板、线网等)，严格按照规定清洗导轮槽(注意吹线网手法)。 2.2.10多晶硬点 原因:在多晶铸锭时硅料中含有碳化硅氮化硅或两者化合物等杂质，在多晶锭中出现在头部和尾部(如生长工艺不稳定，分会出现在中间)。 解决方案:抓住源头多晶铸锭，改善铸锭工艺，使硬点集中于头部或者尾部，在检测硬点、截断时将其去掉。 2.3断线后处理 断线后晶棒的处理决定晶棒是否能切成片，以下简单介绍了几种处理方法，可以有效的挽救断线后的晶棒。 1.断线情况发生在进线端，在检查收线轮上的钢线是否足够和检测钢线磨损量在约7um以内时，可以不用将钢线抬出切割缝隙，直接采用倒走线的方式，调整张力臂的张力，将左右张力和砂浆嘴调换，降低工作台下降速度，线速度大概保持在6m/s，然后进行反向切割;(中途可能由于钢线磨损量过大导致二次断线，不能确保切割完成) 2.断线情况发生在出线端，将线头接上，将工作台下降速度降低，慢走线把线头绕到收线轮上(多绕几圈确保线头不会松脱); 3.断线情况发生在线网中间，则将晶棒的出线端那段线网剪断，调整好切割室的滑轮和人线滑轮支架，接好钢线，然后把线头绕到收线轮上(多绕几圈)，降低工作台速度，慢走线十分钟左右开始提高工作台速度; 4.两头断线:①切割约20%以内，直接把工作台抬起，重新编制线网，用悬浮液将晶棒线槽内的砂浆冲干净，慢走线，手动将晶棒压入线网内，继续切割(注意压入的时候将线网拨正压入，注意跳线)，不过这种方法成功率不高;②切割约30%以上，将晶棒工作台缓慢抬起(如果有的钢线卡在晶棒切割槽内，则将之压平)，离线网还有5一10mm左右(晶棒还未脱离线网)，将两面的钢线剪断，把钢线留在晶棒内。抬升工作台，重新布置线网，将晶棒缓慢压入.然后将残留在晶棒内的钢线抽掉。同时，也有采用钢线焊接仪焊接的方法，可以在断线的时候把钢线焊接起来，将接头的地方磨圆直径磨小，然后调整钢线张力采取慢走线的方式把焊接的接头走出来绕到收线轮上。但是到目前为止成功几率低，常因焊接接口不牢固重新断线，待研究。 3总结 如上所述，找对钢线断线原因和解决好断线后处理的问题可以很好的控制断线率，从而可以控制成本，达到降本增效的目的。 * THE END! 主要内容 1、硅片多线切割技术与设备的发展现状与趋势 2、硅片线痕的起因和降低方法 3、硅片