磁电多重铁性超晶格薄膜之制作与特性研究-科技部工程科技推展中心.PDF

行 年 類 行 年年 行 立料 參理 理林 理 理 理 理 理林 理 理 論 理 利 年 年 ■ 成 果報告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 磁電多重鐵性超晶格薄膜之製作與特性研究 （第3 年） 計畫類別： ■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 95－2221－E－007－032－MY3 執行期間： 2008 年08月 01日至 2009 年12月 31日 計畫主持人：吳泰伯 共同主持人： 計畫參與人員：周喻稔 、陳彥廷 、王韋婷、林世民 、彭慶翔 、林呈泓 、 陳建熹 、張文淵 、侯承浩 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交 ) ：□精簡報告 ■完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 ■出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：國立清華大學 奈微與材料科技中心 摘要 本實驗利用雙槍磁控濺鍍系統，成功鍍出具有強烈諧合 成長(coherent growth)的尖晶石與鈣鈦礦 2-2型積層薄膜。 CoFe2O4(CFO)由於表面自由能的關係，容易在 Si 基板上出現(111)的指向。 本實驗利用這個特性，以 BaTiO3(BTO)作為起始層，藉由控制 CFO 與 BTO的堆疊 週期，可調變 BTO 與 CFO積層薄膜結構的指向。在相同總厚度下，當堆疊週期越 高，也就是子層厚度越低的時候，薄膜結構趨向 (111)指向。這證明了這兩種材 料之間可以克服晶格常數的差異，彼此互相增強結晶性。利用穿透電子顯微鏡， 本實驗成功觀察到 BTO/CFO之間的諧合 成長機制。 除了 BTO之外，具有強鐵電性的 Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)也與 CFO整合在同一個 結構中。 PZT/CFO/PZT 三層結構呈現非常整齊與規律的柱狀晶結構，且改變 CFO 的厚度並不會造成鐵電性的下降，這是因為 CFO的阻值遠比 PZT 來得 小的緣故。 然而隨著 CFO中間層的變薄，磁性卻下降得很快。這有可能因為 PZT 與 CFO晶格 常數差異帶來磁性的劣化。雖然如此， PZT/CFO/PZT仍然具有相當優異的抗漏電 行為，以及良好的鐵電性與鐵磁性，是非常適合用來研究磁電耦合現象的結構。 過去，固定鐵電與鐵磁相比例下， 學者盡可能的增加兩相的接觸面積，預期 可以有較佳的磁電耦合現象。本實驗同樣利用 2-2型 PZT/CFO積層薄膜，在相同 總膜厚下，改變堆疊週期，卻發現 鐵電性與鐵磁性隨著堆疊週期的增加而下降。 藉由掃描式穿透電子顯微鏡與 X 光能量色散光譜分析，本實驗發現