MEI048酸性蚀刻机工作指引`.docVIP

文件发行/更改审批表 DOCUMENT ISSUE/CHANGE APPROVAL SHEET 文件状态 DOC STATUS 文件名称： 酸性蚀刻机工作指引 TITLE： 文件编号： REF：MEI048 版本： ISS：00 文件更改履历性质及项号（DOCUMENT AMENDMENT HISTORY） 修订 REV. 更改性质及项号 NATURE OF CHANGE AND SECTION NO. 制订人 INITIALOR 生效日期 EFF.DATE 1 第一版 何锋 2008.01.05 审批(制订人应用“（X）” 审批人 修订（1） 修订（2） 修订（3） 修订（4） 修订（5） QA （X） 工程部 （ ） 生产部 （X） 市场部 （ ） 工艺部 （X） 维修部 （X） 财务部 （ ） 人力资源部 （ ） 行政部 （ ） 运营总监 （X） 总经理 （ ） OPI002-1/00-2 XINGDA P.C.B CO.,LTD 兴 达 电 路 板 厂 文件名称： TITLE： 酸性蚀刻机工作指引 文件状态 DOS STATUS 文件编号 REF： MEI048 版本修订 ISS-REV：00-1 页号 PAGE 1 OF 3 1、目的： 建立及介定蚀刻工艺的操作条件，使蚀刻得以顺利进行 2．适用范围： 本文件只于蚀刻工艺的退膜 ，蚀刻工序 3．适用文件： 3．1 制作技术MI.LOT卡 3．2 流程检查表 3．3 内部工艺标准 3．4 工程更改通知 3．5 化验补料单 4．责任 4．1 生产部负责实施日常操作工作参数条件 4．2 流程工程部负责为遇到的问题提供技术支援 4．3 维修部负责为生产设备提供维修保养服务 4．4 品质部负责仪器调校及流程参数的监控 4．5 化验室负责药水的化学浓度分析及调整 5．设备、材料物品 5．1 宇宙蚀刻退膜机 5．2 手动退膜缸、架子 5．3 百倍镜 5．4 蚀刻子液 氨水 氢氧化钠 盐酸 OPI001-1/00-1 XINGDA P.C.B CO.,LTD 兴 达 电 路 板 厂 文件名称： TITLE： 酸性蚀刻机工作指引 文件状态 DOS STATUS 文件编号 REF： MEI048 版本修订 ISS-REV：00-1 页号 PAGE 2 OF 3 6．蚀板流程： 入板 → 蚀刻 → 氨水洗 → 循环水洗 → 酸洗 → 循环水洗 → 循环水洗 → 清水洗 → 吸水 → 强风吹干 → 热风吹干 → 出板 7．工艺参数条件： 7．1温度：50±3℃ 7．2烘干温度：80±2℃ 7．3蚀刻压力：上喷2.0Kg/㎡ 下喷1.5-1.7Kg/㎡ 7．4氨水洗压力：1-3 Kg/㎡ 7．5循环水洗及酸洗压力：1-2Kg/㎡ 8．蚀刻速度和蚀刻液成份： 8．1蚀刻速度：H/HOZ：1.8-2.0m/min开两个泵 1/1OZ：1.3-1.6m/min开两个泵 2/2OZ：0.8-1.0m/min开两个泵 8．2蚀刻液成份：Cu2+:130-190g/L 酸度（HCL）：1.5-3.5mol/L SG?： OPI001-1/00-1 XINGDA P.C.B CO.,LTD 兴 达 电 路 板 厂 文件