MEMS器件设计与原理.pdf

Course No. MEMS器件 设计 MEMS Devices Design 教室：二教508 2009 2月24 日 时间：每周二5:30-8:30pm Feb 17-June 1th, 2009 教师 张海霞，教授17，Cell: Email：zhanghx@ime.pku.edu.cn 杨振川，副教18 Email: Z.yang@ime.pku.edu.cn Office: IME, PKU, 2nd floor Office hour, 9am-8pm everyday 北京大学微电子学研究院 MEMS器件与设计 （第一讲） 张海霞 2009-2-17 课程简介 程的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS 设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的M EMS器件作为研究实例，让学生了解和掌握ME MS器件和系统，从原理设计、工艺设计、系统 设计，到加工测试的整个设计过程，以及其中应 该关注的主要问题和这些问题的研究、解决方 法。同时，培训目前MEMS研究中常用的软件工 具，让学生掌握最先进的辅助研究工具，提高设 计效率和质量。 北京大学微电子学研究院 MEMS器件与设计 （第一讲） 张海霞 2009-2-17 课程安排 2月17日 Course Overview Lecuture1: Introduction to MEMS，Instructor：ZHANG Haixia 2月24 日 Lecture2: Small is Different: MEMS Design and Fabrication，Instructor：Zhang Haixia 3月03 日 Lecture3: Introduction to Mechanics of Materials，Instructor：YANG Zhenchuan 3月10日 Lecture4: Sensing and Actuation of MEMS，Instructor：YANG Zhenchuan 3月17日 Lecture5: Process Design Technology，Instructor：YANG Zhenchuan 3月24 日 Lecture6: Process Effect on structure designLayout design, Instructor：YANG Zhenchuan 3月31 日 Lecture7: Software Training: ANSYS(1)，Instructor：YANG Zhenchuan 4月07 日 Lecture8: Software Training: ANSYS(2)，Instructor：YANG Zhenchuan 4月14日 Lecture9: Software Training: ANSYS(3) ，Instructor：YANG Zhenchuan 4月21 日 Lecture10: MEMS System Design，Instructor：YANG Zhenchuan 4月28 日 Lecture11: MEMS Inertial Sensors，Instructor：YANG Zhenchuan 5月05 日 Lecture12: MEMS Device design1: Accelerometer，Instructor：YANG Zhenchuan 5月12日