Venus操作维护手册1.0.pdf

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2017-09-17 发布于湖北
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Venus操作维护手册1.0

Venus 200 日常操作维护手册作者：Peter Lu 第 1 页 2009-8-9 开机 a. 打开P10 气体钢瓶上主阀。调节如下图3 号调节阀,使压力表(6)输出压力为 0.75bar。 b. 打开He 气钢瓶主阀,调节输出压力为0.8Bar.(如果配置有冲He 系统) c. 打开墙上主电源开关或稳压电源开关。 d. 按下主机电源开关.(如下图).这时主机进入开机状态. 电源开关 e. 打开计算机电源。运行Venus 软件. f. 选择仪器状态栏,检查P10 流量（1L/h 左右）. 作者：Peter Lu 第 2 页 2009-8-9 P10 气流量 g. 在下图中,点”Manual Control”, 出现Manual Control画面.在Manual control里选择”Vacuum”, 这时切换介质到真空. 点这里作者：Peter Lu 第 3 页 2009-8-9 点这里 h. 在下面状态图中检查真空度,是否小于100Pa. 看这里 i. 在Manual Control图中,点”Normal breed”. 作者：Peter Lu 第 4 页 2009-8-9