真空技术第五章.pdf

第五章 真 空检 漏 5.1 漏孔对真空系统的影响 QD p QL 设真空系统对容器的有效抽速为S ，器壁放气率为 S e e Q ，漏气率为Q [Pa L/S]，则真空泵抽走的总气体量 D L 为Q=Q +Q ，容器中能达到的极限真空度为 D L Q Q QD QL 真空泵 p u （5-1） S S e e 假设系统经过有效的除气，Q 可减小到可忽 图5-1 真空系统压强与漏孔的关系 D 略的程度，这时有 QL p u （5-2） S e 可见，这时系统的极限真空度主要取决于漏孔漏气率的大小。 真空系统由多种元件、多种材料组成，在其连接处、焊接处等容易产生肉眼看 不到的极小的漏孔。要堵塞漏孔，首先要能检查出这些漏孔的位置，并在必要时判 断出其漏气率的大小，这一技术称为“真空检漏”。 1. 真空系统漏气的判断 先将真空系统抽气，到达一定压强后， 将阀门关住，让系统与泵隔断。然后测量系 统压强的变化率： a. 压强保持原值：系统既不漏气， 也不放气； b. 压强的增加是放气所致； c. 压强的增加是漏气所致； d. 系统同时存在放气和漏气。 图5-2 真空系统漏气的判断 例：对某真空系统，关闭泵与系统间的阀门以后，在10分钟内测量压强的增 -5 加量ΔP/ Δt,如果ΔP/ Δt 2×10 Pa/min，则系统是不漏气的。 p p 2. 漏孔的漏率 1 2 漏孔的大小是用其漏率[Pa L/S或Torr L/S]来衡 P1 P2 量的。若有两个漏孔，不论它们的形状如何，只要漏率 QL 相等，就认为这两个漏孔是同样的漏孔。 国际真空学会对于漏孔漏率的定义： 在漏孔一端的压强为101325Pa(±5%），另 图5-3 漏孔的漏率 一端为压强低于1013.25Pa, 露点低于-25℃的空气， 在温度为23 ±3℃时流过漏孔的流量。 真空系统的漏孔一般是很小的，漏率10-1Pa L/S；漏孔的孔径d一般为微 米量级，属于分子流漏孔。 2 r3 RT 在分子流下 Q v (p p ), 而v 1.6 L