第八章电子背散射衍射分析技术.pdf

LOGO 材料分析测试技术 王煜教授 Email ：wangy@cqu.edu.cn Lab ：理科楼801 室 第八章 电子背散射衍射分析技术 第一节 概述  第二节 电子背散射衍射技术硬件系统  第三节 电子背散射衍射技术原理及花样  第四节 电子背散射衍射技术成像及分析  第五节 电子背散射衍射技术数据处理 第一节 概 述  电子背散射衍射(EBSD)技术以扫描电子显微镜为基础，利 用此技术可以观察到样品的显微组织结构， 同时获得晶体 学数据，并进行数据分析。  电子背散射衍射技术兼备了X 射线统计分析和透射电镜电 子衍射微区分析的特点，是X射线衍射和电子衍射晶体结 构和晶体取向分析的补充。  电子背散射衍射技术已成为研究材料形变、 回复和再结晶 过程的有效分析手段，特别是在微区织构分析方面的有广 泛的应用。 3 第一节 概 述 EBSD 的发展大致经历以下几个阶段：  1928年，日本Kikuchi在透射电镜中，首次发现了带状电子衍 射花样，并对此衍射现象进行解释，称这种线条花样为背散 射电子衍射花样又称菊池花样。  1972年，Venables和Harland在扫描电镜中，得到了背散射电 子衍射花样。  19世纪80年代后期，Dingley得到了晶体取向的分布图，并成 功地将EBSD技术商品化。  20世纪90年代初，成功研究出自动计算取向、有效图像处理 以及自动逐点扫描技术，之后能谱分析和EBSD分析的有效结 合使相鉴定更加有效和准确  2000年以后，EBSD标定速度的大幅提升，加快了EBSD 的发 展和推广 4 第二节 电子背散射衍射技术硬件系统 一、硬件系统整体布局示意 如图8-1所示，EBSD分析系统由样品、电子束系统、样品 台系统、SEM控制器、计算机系统、高灵敏度的CCD相机、 图像处理器等几部分构成。 电子束系统 图像处理器 磷屏幕 样品 CCD 相机 样品台系统 计算机系统 SEM 控制器 图8-1 EBSD分析系统示意图 5 第二节 电子背散射衍射技术硬件系统 二、硬件系统整体布局实物 安装了EBSD分析系统的扫描电镜实物照片见图8-2 (a) (b) CCD 相机 可倾转样品台 电子束系统 o 10 计算机系统 (c) 样品腔 CCD 相机