脉冲调制射频功率测量中的标定及fft分析方法研究-核聚变与等离子.pdfVIP

第31 卷 第4 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.31, No.4 2 0 1 1 年 12 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Dec. 2011 文章编号：0254−6086(2011)04−0297−08 脉冲调制射频功率测量中的标定 及 FFT 分析方法研究 1, 2 1 1 1 霍伟刚 ，苏 成 ，孙 斌 ，丁振峰 (1. 大连理工大学物理与光电学院，大连 116023 ；2. 辽宁师范大学物理与电子技术学院，大连 116029) 摘 要：利用电压/ 电流探头和数字示波器实现了脉冲调制射频功率测量。电压/ 电流探头输出的电压、电流 信号由数字示波器采集存储，电压、电流的幅值及相位差由FFT 分析得到。在不同频率下，对电压、电流幅值及 相位差进行标定，获得计算射频功率的标定参数。分析表明电压、电流相位差是影响标定系数的主要因素，FFT 方法处理非稳态调幅电压、电流时存在问题，只有在零无功功率处才能获得可信的吸收功率。 关键词：脉冲射频功率测量；电压/ 电流探针；标定；非稳态FFT ；相位差 中图分类号：O539 文献标识：A 1 引言 的变化最小[9] ，其中一部分原因可能是微分探针因 大气压射频放电的击穿和维持电压较低，易于 具有整体屏蔽结构而降低了地环干扰。本文所使用 得到空间均匀的射频辉光放电，是一种具有潜在应 的 MKS V/I Probe 探头体积小且密封在金属铝壳 用前景的放电技术[1] 。为了降低射频大气压辉光放 内，再通过电磁屏蔽进一步降低电压、电流同轴电 电气体温度进而抑制热不稳定性，以期获得更加稳 缆信号线回路中的电磁场，因而测量系统具有良好 定、更高强度的辉光放电，不同研究小组开始尝试 的抗电磁干扰能力。但是，限于MKS V/I Probe 所 [2~4] 配采集卡的数据存储长度和运行模式，该探针仅能 脉冲调制射频大气压放电 。 在脉冲调制射频放电中，脉冲射频放电功率随 用于稳态或慢变放电系统的功率测量。为了利用实 时间快速变化,对应的测量技术相对复杂。在低气压 验室现有MKS V/I Probe 的优点，拓展其功能实现 脉冲调制射频等离子体中，有人采用分立电压、电 脉冲调制射频放电功率的测量，本文提出了一种标 流探头测量了脉冲调制射频放电功率[5, 6] 。在大气 定方法并获得了标定系数，讨论、分析了标定过程 压脉冲调制射频放电中，目前尚未见到脉冲放电功 出现的相关问题，验证了该系统测量射频功率的可 率测量的报道。在采用分立电压、电流探头测量射 行性。 频功率时，两探头及其引线组成面积较大的回路， 在采用 V/I Probe 探头测量脉冲调制射频信号 射频放电产生的电磁场在回路中将相应产生较大 时，所得到的电压、电流幅值均随时间变化。通过 的地环干扰，从而影响电压、电流测量信号[7, 8] 。P FFT 方法分析电压、电流调幅信号，从而获得功率、 J Hargis 等人发现所谓的微分探针在高频区具有高 阻抗等重要参数。在脉冲调制射频放电的功率测量 信噪比，而且电压、电流相位差的校准误差随频率 中，L J Overzet 和 F Y Leong-Rousey 发现脉冲上 收稿日期：2011−02−17；修订日期：2011−0