晶体硅表面制绒参数优化分析-表面技术.pdfVIP

第43卷摇 第5期 摇 摇 摇 表面技术 摇 摇 2014年10月 SURFACE TECHNOLOGY ·87 · 試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試 晶体硅表面制绒参数优化分析 种法力 (徐州工程学院,江苏 徐州221008) 摘摇 要: 目的摇 研究酸(HF和HNO )、碱(NaOH)腐蚀液对晶体硅制绒的影响。 方法摇 通过改变NaOH 3 浓度、异丙醇浓度、腐蚀时间研究单晶硅片腐蚀,通过改变酸溶液浓度比研究多晶硅片腐蚀,通过分析微 观形貌及表面反射率等考察制备晶体硅制绒工艺参数。 结果摇 单晶硅最佳的腐蚀液配比为: