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- 2017-10-02 发布于天津
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半导体工艺仿真试验指导书.PDF
半导体工艺仿真实验指导书
朱筠 金蕾 过立新编
西安邮电大学
目 录
实验一 仿真准备 3
实验二 使用ATHENA 的NMOS 器件结构仿真 9
实验三 使用ATLAS 的NMOS 器件仿真 32
2
实验一 仿真准备
3
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