X-RAY 测厚仪用户培训手册.pdf

X- 线仪器用户培训 （仅共参考，以仪器跟机英文操作说明书为准） 一．原理 X-射线原理 1)在X 射线管中，由加热阴极产生的电子，在受到最大为50KV 的可调高压的加速后，轰击阳极（通 常由钨或钼组成）。 2) 电子的动能主要转化为韧致辐 。此外，在阳极 （例如钨）上还会产生独特的，高强度的X 射线 荧光辐射。初级辐射就是这两种辐射的组合。最大能量为50KeV 。 3)采用不同大小和形状 （圆形，正方形，槽型）的视准器，可选择X 射线射到工件上的形状和尺寸， 这样就可以测量小到约50 Ⅹ50 m 的测量点。视准器由通透的可进行测量点光学成像的材料组成。 4)有一个光源 （图中没有画出）用于样品的照明。采用一块反 镜和透镜可直接反射光线到彩色的 视频摄像头上。反 镜的中心有一个孔，用于通过初级辐射。 5)初级辐 激励镀层和底材发 X 射线荧光辐 。这是由于初级辐射量子碰撞内部的某一电子层上 的电子所致（光电效应）。 6) 由于能量的缘故，产生的空位由外层的一个电子填充，能量差以X 射线荧光辐射（K ，K 辐射， α β 等等）的形式发出。该能量差是相应材料的特征能级差。 7)辐 信号使用辐 探测器来测量，通常采用充满氙气的比例计数器。X 线荧光辐射电离氙原子。 释放出的电子朝着处于计数器中央的高压 线加速。自由电子的数目与X 射线荧光辐射的能量成正 比。 8)撞击 线的电子转换为电脉冲，由放大器放大，脉冲的高度与辐射能量成正比。 9)脉冲按照它们产生的能量和频率 （强度）进行排序。这样就可以获得给定的镀层/底材组合的 X 射线荧光辐 频谱。采用基本参数方法，WinFTM®软件可根据相关的理论计算得出镀层厚度 成 分，甚至可以允许无标准片测量。 10)测量数据和样品的图像可由彩色显示器显示。 1 仪器外部功能示意图： 测试台左方图示 1.焦距调整 2.高压开关 3. 电源开关 4.视频输出 5.RS-232 系统连接头 6. 电源接头 2 测试台右方图示 1.X,Y 工作台 2.系统散热 进气口过滤 海绵 测试台正面图示 1.测量键 2.停止键 3.高压指示灯 4.射线指示灯 5.快门指示灯 6.测试门关闭指示灯 7. 电源指示灯 8.样品测试台 二．开关机顺序 开机顺序： 1. 打开计算机，显示器 打印机 ( 如果有的话 ) 。 2. 按动双稳开关打开 FISCHERSCOPE X-RAY 仪器。 *3. 在钥匙开关中插入钥匙并转动到 “ON ”位置( 向右上方转动),打开供应X 射线管的高压(如果钥 匙不在 “ON ”位置) 。 4. 计算机自检结束后，在计算机桌面上 找到WinFTM 图标，鼠标左键双击打开。 5. 使 FISCHERSCOPE® X-RAY 仪器与WinFTM 软件进行联线。在 “Win