纳米微米复合图形化衬底及其在半导体异质外延上的应用-光学仪器.PDFVIP

第 卷 第 期 光 学 仪 器 年 月 文章编号 纳米 微米复合图形化衬底及其 在半导体异质外延上的应用 郭雄彬 方 旭 傅建新 许 坚 叶 辉 浙江省能源与核技术应用研究院浙江 杭州 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室浙江 杭州 摘要报道了一种新型的纳米微米复合的蓝宝石图形化衬底采用 的方法在微米级 半球阵列表面静电自组装一层 纳米球形成了适合纳米范围选择性生长的区域研究 发现该复合结构的制备过程与后续外延的工艺兼容经封装后在复合图形衬底上制造的 芯片其所测试的光通量比未添加 纳米颗粒的微米图形衬底制造的光通量提高 左右而光输出功率则提高了研究表明在传统的微米图形衬底上加入 纳米 颗粒阵列不仅能够提供纳米级区域外延生长的模板有效减少外延层的线位错密度而且能够 进一步粗化衬底表面增加有源层光线逸出的几率从而有效地提高了光提取效率 关键词图形衬底提拉法 纳米颗粒光提取效率外延生长 中图分类号 文献标志码