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利用差动原理和采样补偿提高工作台精度.pdf
第28卷第4期 上海工程技术大学学报 V01．28No．4
2014年12月 JOURNAL0FSHANGHAIUNIVERSITY0FENGINEERINGSCIENCE Dec．2()14
文章编号：1()()9—444X(2014)04—0296一()6
利用差动原理和采样补偿提高工作台精度
王 荣，张敏良
(上海工程技术大学机械工程学院，上海20162【))
摘要：针对精密定位工作台目前存在的高精度、大行程和低成本难以协调的问题，提出一种差动
式结构的工作台，利用动态采样的方法对开环误差进行标定，建立误差模型，通过控制上下叠加
的两个工作台差动对系统误差进行动态补偿．研究表明：利用差动原理对误差动态补偿的方法有
效提高了工作台精度和系统灵敏度，为微位移机构的设计提供了新的思路和方法．
关键词：精密定位；差动原理；动态采样；误差建模；动态补偿
7()3
中图分类号：TH 文献标志码：A
of for Table
Precisiona
ImproVement Micro—Displacement
Basedon and
Differential
TheorySamplingCompensation
W-ANG
Rong，ZHANGMi以Zin押g
ofMechanical of
(College 2()162()，China)
Engineering，ShanghaiUniversityEngineeringScience，Shanghai
Inorderto solvethecoexistenceof andlow—cost
Abstract： problemhighprecision，10ng—range
ofdifferentialof tableswas
simultaneously，avariety typeultra—precisionpositioning
errorswere and
demarcated method．Thenerrormodelwasset and
gathered dynamic
by sampling up
for errorwasachieved thetwotables’differential．
dynamiccompensationsystem throughcontrolling
The showsthattheerror based
methodondifferentialand
study dynamiccompensation theorysampling
can the oftableandthe ofthe
compensation
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