含折叠梁型移动副的微定位平台刚度研究.pdfVIP

第29卷第8期 机械设计 V01．29No．8 201 2年8月 JOURNALOFMACHINEDESIGN Aug． 2012 含折叠梁型移动副的微定位平台刚度研究+ 宫金良，张彦斐，胡光学 (山东理工大学机械工程学院，山东淄博255049) 摘要：介绍了一种基于压电陶瓷驱动器驱动的二维微定位平台。在结构上，定位平台采用多功能微驱动接口模块实 现位移的增倍输出，采用折叠粱型弹性移动副实现平台的低阻力特性。因此，整体平台不但具有结构紧凑的特点，也达 到了最大限度增大运动范围的目的。基于悬臂梁结构的单元刚度矩阵，推导了这种折叠梁型弹性移动副的刚度。将文 中提出的新型二堆微定位平台结构划分为6部分并分别建立了相应的刚度矩阵，根据具体的链接关系将6个子刚度矩 阵联立获得微定位平台整体刚度的数学模型。最后给出了运算实例，验证了上述刚度分析方法的正确性。 关键词：微定位平台；柔性铰链；刚度 中图分类号：TP242．2文献标识码：A 文章编号：100l一2354(2012)08—00ll—04 微定位平台能够在微米级甚至纳米级空间进行精 支链均包含一个折叠梁型弹性移动副7和两个轴线互 密操作，在微机电系统、光学调整、超精密加工、微外科 相平行的连杆5，两个连杆的一端分别通过弹性转动 手术、生物细胞操作等领域得到越来越广泛的应 副4与末端执行器9连接，另一端分别通过弹性转动 用¨。4J。基于柔性铰链的并联微定位平台，其各关节 副6与多功能微驱动接口模块3连接。通过模块的微 采用柔性铰链，能够依靠自身的变形约束平台的运动， 位移放大功能和折叠梁型弹性移动副的低阻力特性， 最终得到末端平台的期望位姿。由于该类机器人采用 能够有效保证微动平台的大行程输出。 变形来实现末端微小运动，平台刚度在很大程度上影 9 响着机器人的动态性能和末端的定位精度，因此刚度 问题是设计和评价柔性微动平台的一个重要指 标15曲j。此外，柔性微机器人作业的精微性更是决定 了其刚度的重要性。卜8|。 文中采用多层折叠梁实现移动副的大行程驱动， 针对这种多层折叠梁移动副的刚度建模方法，设计了 一种二平动大位移微定位平台，通过将平台整体刚度 与驱动点刚度相结合，确定该类微动平台的整机刚度。 圈1二平动大位移微动平台结构简圈 1 大行程微定位平台的结构描述 2 微动平台柔性部件的刚度矩阵 文中设计了一种二平动大位移微定位平台，如 2．1柔性铰链单元的刚度矩阵 图l所示。两个压电陶瓷驱动器2均安装在固定平 对微定位平台中采用的柔性转动副铰链建立如 台1上，连接于末端执行器9与固定平台1之间有两 图2所示坐标系。 条支链，两条支链正交均布在末端执行器9外围，每条 可对柔性转动副铰链建立如下刚度矩阵： ·收稿日期：2011—12—16；修订日期：2012—03—13 养资助项目 级三等奖2项。 12 机械设计 第29卷第8期 E kO 0 O kO 一12 6l1 0 O 0 O —6f2 222 k k