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三电极微细电解加工脉冲电源.pdf
ISSN 1000 0054 清华大学学报 (自然科学版) 2015年 第 55卷 第 3期 2／19
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CN 112223／N jTsinghuaUniv(SciTechnoi)，2015，Vo1．55，No．3 266—272
三电极微细电解加工脉冲电源
孔全存 ， 李 勇 ， 刘国栋 ， 李朝将 ， 佟 浩
(1．清华大学 机械工程系 ，精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室，北京 100084
2．北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院，北京 100192)
摘 要 ：脉冲 电源是实现微细 电解加工的技术关键之一。 PPS with a neutral NAN()一{electro[yte． Thus， the machining
该文基于钝化膜增厚过程分析 ，探讨抑气促溶机理，并设计 efficiency is effectively improved with good machining locality in
bluntelectrolyte and a neutralsolution with less environmental
一 种具有脉 间输 出的三 电极微细 电解加工脉冲电源 ，利用
pollution．Thesystem alsogiveshigh qualitysurface morphology
辅助 电极导入电解池 的加工脉 间完全去极化 电流 ，完成界 afterECM inanacidicelectrolyte，withthesurfaceruughness，R，，
面加酸过程。微细阵列孔及微细槽 的电解加工实验显示： improvedfrom 0．52 btm to0．28 um ． The experimentsverify the
采用三电极脉冲电源在中性NaNO。电解液中的微细 电解加 feasibilityofthethree—electrodePPSwithIPO form icroECM ．
工，蚀除速率从两电极脉冲 电源 的3．21×10-4mm。／s提高 Keywords：micro electrochem icalmachining (micro ECM)；pulse
powersupply (PPS)；three—electrode：adding acid on
至6．62×10 mm。s，有效地提高了加工效率；该 电源在维
the workpiece—liquid interface； gas inhibition and
持钝性电解液中加工定域性好和中性电解液的环保优势的
dissolutionpromotion (GIDP)
同时，又具有偏酸性电解液 中加工后表面质量高的优 点，加
工表面粗糙度 R从 0．52／,m 降至
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