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硅纳米孔柱阵列及其四氧化三铁复合薄膜的湿敏电容特性 - 物理学报.PDF
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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硅纳米孔柱阵列及其四氧化三铁复合薄膜
的湿敏电容特性研究!
王海燕 李新建!
（郑州大学物理系，材料物理教育部重点实验室，郑州 #$$#% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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报道了硅纳米孔柱阵列（ ）， 复合的 （ ）两种薄膜材料的制备方法并对其形貌和
)*+,-. /0 2 )*+,-. /0 2 3 )*+,-.
1 1
结构进行了表征，研究了其电容湿度传感特性 结果表明， ， 均为微米 纳米结构复合体系 当环
4 )*+,-. /0 2 3 )*+,-. 3 4
1
境相对湿度从((5 上升到’# 5 时，采用($$ 67 的信号频率进行测试，以)*+,-. 和/0 2 3 )*+,-. 为电介质材料制成
1
的湿敏元件的电容增加值分别为起始值的(#$$ 5 和##$$ 5 ；采用 ($$$ 67 的信号频率测试时，则分别为起始值的
和 ，显示出两种材料较高的湿度灵敏性和较强的绝对电容输出信号强度 同时，在升湿和降湿过程
8$$ 5 (%$$$ 5 4
中， ， 都具有较快的响应速度，其响应时间分别为 ， 和 ， 文章结合材料的形貌和
)*+,-. /0 2 3 )*+,-. (# 9 # 9 %$ 9 (# 9 4
1
结构特性对其物理机理进行了分析 上述结果表明， 无论是直接作为湿度薄膜传感材料还是作为复合薄膜
4 )*+,-.
湿度传感材料的衬底都具有很好的前景4
关键词：硅纳米孔柱阵列， ，湿度电容传感特性
/0 2
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