动态微力与微加速度的自动化量测系统-自动控制工程学系-逢甲大学.pdfVIP

逢 甲 大 學 自動控制工程學系 畢業專題報告 動態微力和微加速度 自動化量測系統 Dynamical Micro-Force and Micro-Acceleration Automatic Measurement System 指導教授：張興政 學 生：黃聖凱 洪珮誠 林洋鑫 中華民國 九十一 年 六 月 - 11 - - 22 - 感謝 本專題研究期間，承蒙張興政老師的不吝教導與指正，使得實驗能夠如期完 成 ，在此表達由衷的感謝。此外 ，還要感謝劉慶國學長、陳雅惠學姐、林東龍同 學以及實驗室其他學長、學姐的幫忙 ，協助解決實驗期間所遇到的問題 ，在此一 併表達謝意。 - 33 - 中文摘要 傳統的力感測器用來量測大的力量，對於微小的力量就顯得不靈敏。隨著高 科技的進步 ，感測器的製造逐漸朝向體積小、靈敏度高的方向發展。因此 ，建立 一微力和微加速度即時自動量測系統，以分析感測器的特性就顯得重要。本專題 計畫即在建立一個即時動態微力和微加速度自動化量測系統。利用壓電致動器產 生位移，搭配荷重元來量測力微感測器的性能，利用振動源搭配微加速度計量測 微加速度感測器，把所量測到的訊號藉由DAQ卡擷取到電腦中，並使用Lab－ VIEW軟體製作人機介面，將資料做儲存和分析，使量測步驟能夠智慧化、簡單 化 ，以避免人為疏失，建立一個自動化動態微力和微加速度自動化量測系統，進 行微力與微加速度之矽微感測器性能驗證 。 - 44 - ABSTRACT The traditional sensors have been used to measure macro-force, but they do not show enough sensitivity for measuring micro-force. Following the high technology development, micro sensors have been development with small volume, high sensitivity, and smart control. Therefore, to develop a real-time automatic measurement system for analyzing micro force and micro-acceleration characteristics that is important. The study is to setup a real-time micro force and micro acceleration automatic measurement system. The piezoelectric actuator is used to produce controllable displacement. A matched load cell is applied for measuring micro force. The