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带温度补偿的低温漂石英微机械陀螺接口asic设计-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
２５ ７
Vol．２５ No．７
O ticsandPrecisionEnineerin
年 月 p g g
２０１７ ７ Jul．２０１７
文章编号 ( )
１００４Ｇ９２４X２０１７０７Ｇ１８４３Ｇ０７
带温度补偿的低温漂石英微机械陀螺
接口ASIC设计
∗
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付 强 尹 亮 陈伟平 刘晓为
( , )
哈尔滨工业大学MEMS中心 黑龙江 哈尔滨 １５０００１
: , 、 ,
摘要 本文通过分析石英陀螺的工作原理 设计了闭环自激驱动 低噪声相敏解调原理的接口电路 并研究了驱动力耦合
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对零位输出造成的影响 以提高石英陀螺的环境适应性 通过研究传感器敏感表头的空气阻尼和谐振频率等方面的温
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度特性 得出温度对驱动力幅值的影响 进而提出通过驱动力幅值进行温度补偿的方法 对接口电路温度特性以及对
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陀螺零位输出的影响进行了分析 设计了全温区带宽恒定的运算放大器单元 抑制由于检测信号中高次谐波分量比例变
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化产生的温度漂移 并在高压 阱 工艺下流片 实现低温漂接口 在 的温度范围内对石英
N CMOS ASIC －４５℃~８５℃
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陀螺整机进行零位温度循环测试 利用驱动力幅值对零位输出进行三阶拟合补偿 补偿后全温零位温度漂移小于 ２０°hr
( ), / , // .
１σ 短期稳定性为 ５°hr输出噪声为 ０．００１°s√Hz
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关 键 词 石英陀螺 温度补偿 接口 温度漂移
ASIC
中图分类号: 文献标识码: : /
TN４０ A doi１０．３７８８OPE１８４３
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