光电测试技术-第5章_激光干涉测试技术(1／6).pdf

光电测试技术 第5章 激光干涉测试技术 哈尔滨工业大学 第5 章 激光干涉测试技术 概述  由于科学技术的进步，干涉测量技术已经得到相当广泛 的应用。一方面因为微电子、微机械、微光学和现代工 业提出了愈来愈高的精度和更大量程的要求，其它方法 难以胜任；另一方面因为当代干涉测量技术本身具有灵 敏度高、量程大、可以适合恶劣环境、光波和米定义联 系而容易溯源等特点，因而在现代工业中应用非常广泛。  目前已经有许多著名厂家的成熟的干涉仪产品，覆盖了 相当大的应用范围。但是，干涉仪毕竟不是简单的工具， 仍有许多新的应用领域有待开发和研究。因此，需要更 加深入的学习。 2015-11-04 2 第5 章 激光干涉测试技术 概述  现代干涉技术是物理学理论和当代技术有机结合的产物。 激光、光电探测技术和信号处理技术对于干涉技术的发展 起着重要的作用。  历史进程：  17世纪后半叶，玻意耳(Boyle)和胡克(Hooke)独立地观察 了两块玻璃板接触时出现的彩色条纹（后被称作牛顿环）， 人类从此开始注意到了干涉现象。  1690年，惠更斯出版 《论光》，提出 “波动”说。  1704年，牛顿出版 《光学》，提出了 “微粒”说。  1801年，托马斯·杨(Thomas Young)完成了著名的杨氏双 缝实验，人们可以有计划、有目的地控制干涉现象。 2015-11-04 3 第5 章 激光干涉测试技术 概述  历史进程：  1818年，阿喇果和菲涅尔发现两个正交的偏振光不能干涉， 导致杨和菲涅尔得出光是横波的结论。  1860年，麦克斯韦(C.Maxwell)的电磁场理论为干涉技术 奠定了坚实的理论基础。  1881年，迈克尔逊(A.Michelson)设计了著名的干涉实验 来测量 “以太”漂移，导致 “以太”说的破灭和相对论的 诞生。他还首次用干涉仪以镉红谱线与国际米原器作比对， 导致后来用光波长定义 “米”。  1900年，普朗克（Max Planck）提出辐射的量子理论，成 为近代物理学的起点。 2015-11-04 4 第5 章 激光干涉测试技术 概述  历史进程：  1905年，爱因斯坦（Albert Einstein）提出相对论原理。  1924年，Louis de Broglie推导出de Broglie波方程，认 为所有的运动粒子都具有相应的波长，为隧道显微镜、原 子力显微镜的诞生做了理论准备。  1960年，梅曼(Maiman)研制成功第一台红宝石激光器，以 及微电子技术和计算机技术的飞速发展，使光学干涉技术 的发展进入了快速增长时期。  1982年，G.Binning和H.Rohrer研制成功扫描隧道显微镜， 1986年发明原子力显微镜，从此开始了干涉技术向纳米、 亚纳米分辨率和准确度前进的新时代。 2015-11-04 5 第5 章 激光干涉测试技术