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课题：超光滑光学元件表面的加工与检测
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摘要
本文主要通过对超光滑光学元件表面的加工与检测技术进行综述。此文首先对超光滑光学元件表面从特点、加工方法、加工原理等进行概述，然后再对超光滑光学元件表面的检测主要从检测工艺流程进行论述总结，最后以典型超光滑学元件中的超环面镜加工与检测为例进行详细论证。
关键字 ：超光滑 磁流体 抛光 超环面镜
目录：
引言.............................................................................................................................4
上篇：超光滑光学元件表面的加工
2.超光滑表面光学元件的特点.....................................................................................4
3.超光滑光学表面加工方法概述.................................................................................4
4.典型的一些加工方法原理.........................................................................................5
4.1非接触式超光滑抛光磁流体抛光超光滑光学表理
4.2.1磁流体抛光装置及磁路结构
4.2.2磁流变抛光实验
下篇：超光滑光学元件表面的检测
5.超光滑表面的检测
5.1光学表面曲率半径的测量
5.2光学表面面形的测量
5.3超光滑表面粗糙度的检测
典型超光滑光学元件—超环面镜加工与检测
6.超光滑超环面镜的加工工艺...................................................................................10
6.1 4B9B光束线光学系统设计简述及超环面镜的作用......................................10 6.2超环面加工流程及工艺....................................................................................10
6.3超环面加工工艺小结........................................................................................11
7.超光滑光学元件的检测...........................................................................................11
7.1大曲率半径的测量..............................................................................................12
7.2面型误差的测量..................................................................................................13
7.3表面粗糙度的测量..............................................................................................14
8.参考文献...................................................................................................................15
1.引言
日前，光学和光电子学，尤其是短波段光学涉及的相关技术对关键光学元件表精度的要求越来越高，往往需要达到纳米甚至原子级，因此超光滑表而加工技术应运而生。超光滑表面不仅要具备较高的而形精度和极低的表而粗糙度，还要具有完整的表面晶格排布，消除亚表面损伤
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