PZN2PZT压电陶瓷高温石墨还原行为研究3魏晓勇陈大任李国荣.PDFVIP

第 14 卷 　第 4 期 无 机 材 料 学 报 Vol . 14 , No . 4 1999 年 8 月 Journal of Inorganic Materials Aug. , 1999 PZNPZT 压电陶瓷高温石墨还原行为研究 魏晓勇 　　陈大任 　　李国荣 ( 中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室 　上海 　200050) 摘 　　　要 为研制具有超大位移量的 RAINBOW 新型压电微位移驱动器 , 对制备该器件所用铌锌酸铅锆 钛酸铅 (PZNPZT) 压电陶瓷材料的还原行为进行了初步研究 , 观察到还原样品断口上呈现出清晰 的多层层次结构 采用 SEM 、XRD 和电导率测量等研究方法 , 研究了还原样品各层次的断口形貌 、 物相组成和导电类型 , 对 PZNPZT 压电陶瓷材料在高温下被石墨还原的过程和机理作了初步解释 研究表明还原反应是按照先晶界后晶粒的顺序进行 , 各层的导电类型随还原程度由浅到深呈现出 绝缘体型半导体型金属型的变化规律 , 对于轻度还原层 , 仍保持着初始的固溶体晶相结构 , 相 应地对深度还原层 , 初始晶相结构已被破坏 , 由分解的复相所构成 关 键 词 　RAINBOW , 压电微位移驱动器 , 还原行为 分 类 号 　TN 304 1 　 引言 RAINBOW (Reduced And INternally Biased Oxide Wafer) 是一种新型超大位移量压电微位移 驱动器 通过压电陶瓷在高温下被石墨还原的特殊制备工艺 , 大致形成压电陶瓷层和还原层 自然结合的两层结构 , 在冷却后由于两层收缩率不同 , 而产生独特的拱形结构 RAINBOW 器件具有超大位移量 、大负载力和结构简单的特点 , 能够提供为厚度 5 倍形变量的位移驱 [ 1] 动 , 又有相对较大的承载能力 RAINBOW 是一种多功能的智能器件 , 有巨大的发展和应用 潜力 , 在诸如线性致动器 、自动开关 、扬声器 、水声发射和接收器 、变焦镜头 、传感器和智 能系统等领域有着广泛的应用前景 对 RAINBOW 器件 , 国内外都处于刚刚起步的研究阶段 , 对 PZT 系压电陶瓷在高温下被 石墨还原的过程尚没有系统性的研究 , 而这恰恰是该器件制备过程中的一个关键环节 我们 初步研究了制备该器件所用铌锌酸铅锆钛酸铅 ( PZNPZT) 压电陶瓷材料的还原行为 , 并获 得了以轴向位移量计算的等效压电系数 d33 为 105 ×10 - 12 CN 量级的超大位移量 RAINBOW 器 件 以实验观测结果入手 , 从微观角度对 RAINBOW 器件的各层层次结构作分析研究 , 这对 掌握层次结构与器件性能之间的关系 , 优化还原条件 , 对 RAINBOW 器件的制备具有积极的 意义 本实验中所选用La 掺杂的PZNPZT 陶瓷材料 , 具有易被还原的特点[2 ] , 研究了它的还 收到初稿 , 收到修改稿 © 1994-2009 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. 4 期 魏晓勇等 : PZNPZT 压电陶瓷高温石墨还原行为研究