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WTYD型压电陶瓷微位移器的迟滞特性建模与试验验证-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
１８ １
Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２０１０ １ Ｊａｎ．２０１０
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２０１００１０２０５０７
ＷＴＹＤ型压电陶瓷微位移器的
迟滞特性建模与实验验证
， ，
１２ １２
王代华 ，朱 炜
（ 重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室，重庆 ；
１． ４０００４４
２．重庆大学 光电工程学院 精密与智能实验室，重庆４０００４４）
摘要：为了模拟 ＷＴＹＤ型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间的迟滞曲线，通过采用 ＢｏｕｃＷｅｎ模型模拟迟
滞分量，提出了一种表征 ＷＴＹＤ型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间迟滞关系的ＢｏｕｃＷｅｎ模型并建立了
相应的参数辨识方法。为了验证 ＢｏｕｃＷｅｎ模型及其相应的参数辨识方法的有效性，建立了相应的实验装置并对模型
进行了实验验证。研究结果表明， 模型的最大绝对误差为 ，最大相对误差为 ，表明
ＢｏｕｃＷｅｎ ３．７８ ｍ ５．７９％ ＢｏｕｃＷｅｎ
μ
模型及相应的参数辨识方法能较好地模拟 ＷＴＹＤ型压电陶瓷微位移器的迟滞特性。
关 键 词：压电陶瓷微位移器；迟滞曲线； 模型；参数辨识
ＢｏｕｃＷｅｎ
中图分类号： ； 文献标识码：
ＴＮ３８４ＴＨ７０３．９ Ａ
犎狊狋犲狉犲狋犻犮犿狅犱犲犾犻狀 犪狀犱犲狓犲狉犻犿犲狀狋犪犾狏犲狉犻犳犻犮犪狋犻狅狀
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１２ １２
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ＷＡＮＧＤａｉｈｕａ ＺＨＵＷｅｉ
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