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背散射电子 （BSE）应用、成像探测器类型及特点 编辑作者：驰奔 入射电子和样品中一个或多个原子核碰撞，能量损失很小改变入射电子运动方向（弹性散射）并从样品表面出 射的入射电子称为背散射电子。背散射电子信号携带样品平均原子序数信息、样品表面形貌信息、晶体结构取向信 息， 背散射电子成像的典型特色是提供样品表面或样品内部不同原子序数部位的亮暗对比反差。背散射电子成像 在扫描电镜应用中非常普遍。 在概念上，我们理解了从BSE 信号也可以获得样品表面形貌反差，但BSE 探测器的形貌反差效果与SE 像相去 甚远。如下图 （来自网络），SE 对形貌非常敏感，SE 图像充分表现低频的形貌起伏信息，高频的微小颗粒信息；而 BSE 信号对表面形貌信息敏感度明显降低，体现亚表层的非真实表面形貌特征，几乎无法表现低频起伏，而高频形 貌分辨率明显降低，但突出成分信息。 在材料研究中，往往关注成分分布，成分信息和形貌信息完美结合是最理想的，因此信号混合图像叠加常常被 使用，如SE、BSE 信号混合，SE 图像和X 射线元素面分布叠加。如下图 （来自网络），由SE+元素面分布叠加图像， 我们可以更好的理解SE+BSE 混合图像表征形貌和成分分布。BSE 图像成分表现能力强于形貌表现能力。 SE + BSE 混合图像 SE + 元素Mappping 混合图像 北京驰奔仪器有限公司 北京海淀区志新路16 号38 号楼530 室 邮编：100083 电话/ ：010 传真：010 Homepage： Email：market@ 在很多材料的研究中，非常关心材料内部相分布，此时往往抛光消除表面形貌，获得准确的相分布图，此时 背散射电子成像可以快速的按照平均原子序数高低区分不同的相。如果关心每个相的具体化学元素组成，则使用EDS 进行鉴定。EDS 高级应用中的谱图像，经过运算可以提取相分布图 ，并且可以定量研究不同相的百分含量。 如上 图 （来自Bruker）。 以上我们看到BSE 图像应用重点在于表征成分分布，而作为形貌研究，几乎没有提及，一般而言形貌研究主要 靠二次电子图像。 背散射电子图像形貌表征能力相比SE 图像弱的多。 SE 对几何形貌非常敏感，其产额与电子束入射角度符合简单的函数关系，并且SE 探测器对于其“视野”范围 内的二次电子可以收集100%，这样经过后期信号运算处理，SE 图像几乎完美体现真实表面形貌。 BSE 信号虽然也携带表面形貌信息，但其产额与电子束入射 角度和材质之间具有非常复杂的函数关系，见右图； BSE 能量E 分布从50ev~E0 ，能量分布非常宽，且峰值接近Eo，因此BSE 电子相对BSE 探测器来说，是直线传播, 没有任何探测器可以探 测器全部单纯背散射电子；从BSE 角度分布可以看出,相对探测 器的取出角和固体角，电子束入射角度不同， BSE 信号收集效 率差距巨大，形貌反差几乎被破坏。虽然BSE 图像不存在边缘效 应，对荷电不敏感，但这些不能提高BSE 探测器形貌成像精度。 BSE 成像，往往通过机械抛光消除表面形貌，图像中的所 有像素入射角度均相同，一般为0 °，那么在一定取出角和固体 角的探测器可以接收相同比例的BSE 产额，这样可以精确地进行 相分布表征，可以实现较高的原子序数分辨率。 BSE 信号携带晶体结构信息，也必须严格消除表面形貌，机械抛光无法满足要求，电解抛光或离子研磨后才可， 此时不同角度分布的相同能量背散射电子，只要满足布拉格定律，就会发生衍射，对衍射花样的分析，可以获得准 确晶体结构信息。将BSE 探测器取出角设置在前散射最大产额处，可以获得晶体取向反差图像。 max BSE 能量分布 0 °入射角BSE 角度分布 入射角BSE 角度分布 北京驰奔仪器有限公司 北京海淀区志新路16 号38 号楼530 室 邮编：100083 电话/ ：010 传真：010 Homepage： Email：market@ BSE 信号携带丰富的材料表面及内部信息，不同探测晶体及安 装的取出角和固体角探测器，成像效果