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制程中线上创新性全域式三维光学量测探头之研发.PDF

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制程中线上创新性全域式三维光学量测探头之研发

量 老 : 亮 : Le Manh Trung Duong Duc-Hieu 1 • •量理 • 2 • 力 不 • 零(zero-defect workpiece) (just-in-time production) 念 來 /gate/big5//sjjj/qy/201305/15/24383084.shtml 3 .tw/art/print.asp?O=HJX5E6JFSGQARASTDC • 精 – – 精力 • 精力 – – 不量 4 • 率精度 量 – 精 – –量精度 5 • •量理 • 6 量理 • – – 數聯 – 量 量精度 7 量理 • – 數 – 量理 –利度 8 量理 •數聯 – – – 度 9 量理 • –精度 – •數聯 –量度 – 精度不 兩 10 量理 • 數聯 –精度 –數聯 度不連 11

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