材料分析2-4晶体薄膜衍射衬度成像分析.ppt

因为 （注意：近似平行） 因此有： 则柱体下表面衍射波的合成振幅?g 衍射强度： 完整晶体的衍射强度公式： ?g — 消光距离 S — 偏离参量 t — 样品厚度 完整晶体的衍射强度公式： ?g — 消光距离 S — 偏离参量 t — 样品厚度 4.5.3 完整晶体衍衬运动学基本方程的应用 等厚条纹 当 S ≡ C时 式（1）可改写为 显然，当t = n/s（n为整数）时，Ig = 0 当 t = (n + 1/2)/s 时, 用Ig随t周期性振荡这一运动学结果，定性解释以下两种衍衬现象。 晶体样品契形边缘处出现的厚度消光条纹，也叫等厚消光条纹。 ? 晶体中倾斜晶界的晶界条纹 利用等厚消光条纹的根数以及所选用的反射对应的消光距离，可近似计算样品的厚度， 例子：设为铝样品，当使用操作反射200进行衍射衬度成像时，如上图所示，得到的等厚消光条纹有3根，估测样品厚度 对应的消光距离为 从上述衍射强度随晶体厚度t的变化关系可见，衍射振幅在晶体深度方向上发生振荡。为了更为形象地表达，可以用振幅-位相图来表示。 一个厚度元dz的衍射振幅为 可以认为，dz即表示了厚度元的厚度，也表示该厚度元内衍射振幅的大小。 如果取所有厚度元的dz都相等，相邻两厚度元的散射波之间相对相位差为 d? = 2 ? s dz 这样，若把一晶柱内各厚度元的散射波振幅矢量叠加起来，就会得到一个圆，半径为R = 1/2?s，该圆称为振幅圆，见图a。 d? = 2 ? s dz d? = dz/R 有 2 ? s dz = dz/R R = 1/2?s 圆周长 = 1/s 证 明： 此时，晶体内深度为t处的合成振幅为 即为从O点顺圆周方向长度为t的弧段所张的弦OQ。显然，圆周长1/s就是衍射波振幅或强度振荡的深度周期，圆直径OP对应的弧长1/2s，此时，衍射振幅最大。 等倾条纹 当t ≡ c时, 式（1）可改写为 s = 0 (n 为非零整数)时 ，Ig = 0 (n为非零整数)时，Ig有极大值，且随?s ?的增大迅速衰减。 ? ? ? Ig随s变化的关系曲线如下图所示，反映了倒易空间中衍射强度的变化规律。 ∵ 时，Ig很小 因此，?1/t的范围作为偏离Bragg条件后产生衍射强度的界限，即为倒易杆的长度 Ig随s的变化类似于将薄晶体稍加弯曲发生弹性变形的情况，因此，也叫弯曲消光条纹，或等倾条纹，见下图 4.5.4 缺陷晶体的衍射强度 晶体中存在缺陷时，会使缺陷附近的某个区域内的点阵产生畸变，这种畸变的大小和方向可用位移矢量 R 表示，见图 由于缺陷存在，使厚度元dz处发生位移 R，其位置矢量r’ = r + R， 电子波穿过缺陷晶体时，分析衍射的情形与理想晶体相似，但需要考虑缺陷位移对衍射波相位角的影响。 分析思路 化简整理有： 缺陷晶体柱体底部衍射波的合成振幅 与完整晶体的衍射振幅 相比缺陷晶体的衍射振幅中引入了一个附加的位相因子 则相应的厚度元dz的散射振幅为 令 称为附加位相角 其中 如果 即畸变引起的位移只发生在反射晶面内，此时畸变不导致附加的衬度 g — 衍射晶面所对应的倒易矢量，操作反射或操作矢量 R — 对于不同的晶体缺陷，有不同的位移矢量，对于同一类型的位 移矢量也会因操作反射不同而出现不同的缺陷衬度 4.6 衍衬动力学简介 4.6.1 运动学理论的不足之处 由运动学理论所得出的衍射强度公式 可知，当S→0， 如果样品比较厚，以致于 将导致 即衍射束的强度超过入射束的强度，这个结论显然是错误的。 1）当s→0时，衍射强度得到错误结论 但是，运动学理论要求 表明样品厚度应满足 假定 是合理的，则应有 ξg一般在300～1000?，因此要满足运动学理论样品的厚度至少应在100～300?以下，要得到这样薄的样品是非常困难的。也就是说，运动学理论只适用于极薄的样品。 2) 满足运动学理论样品的厚度要求很小 当S→0时，衍射束的强度在样品厚度方向上变化周期性1/S趋向于无穷大，因此，等厚消光条纹间距将趋于无穷大，这与实验现象不符。实际上，当S→0时，仍看到条纹间距的上限值。 3）当s→0时，运动学理论确定的等厚条纹间距与实际矛盾 4.6.2? 完整晶体的动力学方程 如图所示，在双光束近似条件下，入射电子束转变为透射束和衍射束，令Φ0和Φg分别为透射波振幅和衍射波振幅，计算得到： 式中 ——为无量纲数，表示在动力学条件下，晶体偏离布拉格条件的程度。 4.6.3? 非完整晶体的动力学方程 与运动学理论一样，在方程中引入了一个位相因子（即位移矢量R） ?