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Zeiss EVO 系列扫描电镜 简明应用指南  1 目 录 第一章 基本概念 第二章 电子束与样品相互作用 第三章 电镜结构和工作原理 第四章 电镜操作规程 第五章 操作参数的选择和调整 第六章 成像 第七章 微区成分分析 第八章 样品制备技术 参考文献 2 第一章 基本概念 一．概述 1．人眼分辨率 平时看报或看书，眼镜通常距离报纸 A 0.2 mm 250mm ，这时人眼的分辨能力可区分两个最近 B 250 mm 眼睛 的物点为 0.2mm，这就是人眼分辨率限度，视 图 1 力通过校正后也应该如此。如果想要观察再小 的物体，必须借助光学仪器。 2 ．光学放大镜 这是日常生活中最常用的、最简单的光学仪器。如果光镜放大倍率为 10 x， 放到物体前面，人眼可以分辨 0.02mm 间距的两个点，人眼分辨率提高 10x。 如果还要观察更小的物体，就要使用显微镜。 3 ．光学显微镜 利用物镜和目镜组合，放在物体前面，如果放大倍率达到 1000x，人眼分率 改善到 200 nm 。以此类推，是否显微镜的放大倍率越高，对人眼看的就越精 细？实际并非如此，当放大倍率高到一定程度时，看到的不是两个分离的点， 而是两个相互重叠的弥散园。仪器分辨率的提高受到照明光源波长λ的限制， 其显微镜的分辨率范围r / 2 。当利用波长λ=390nm～760nm 的可见光 0 照明物体成像，分辨率r 200nm ，这是光学显微镜的分辨率限度。为了进 0 一步提高分辨率，可以使用波长更短的电子束照明物体成像。 4 ．电子显微镜 在真空中高速飞行的电子束与可见光有相似特性：直线传播，可以利用电磁 透镜聚焦成像，其波长约为可见光的十万分之一。利用电子束作为照明源， 分辨率显著改善，下表为目前电镜分辨率和放大倍率的比较。 放大倍率 分辨率 扫描电镜 600kx 优于 1nm 透射电镜 1000kx 优于 0.14nm 第一台商用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称 SEM）于 1965 3 年由英国剑桥科学仪器公司推出，近年与德国卡尔－蔡司（Carl Zeiss ）公司合作， 积扫描电镜领域 40 多年的经验，生产和提供分别为材料和生物使用的Zeiss EVO MA 和 LS 系列扫描电镜。 MA 系列 LS 系列 二．扫描电镜特点 1．分辨率高 二次电子像： 3.0nm （30kV，钨灯丝） 背散射电子像：4.5nm （30kV，钨灯丝） 2 ．放大倍率宽 5x－900kx 放大倍率连续可变，利用低倍率观察样品全貌，高倍率检测微区细节。