射频磁控溅射法制备TiOx薄膜及其光响应的研究-厦门大学学报.PDFVIP

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2018-08-17 发布于天津
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射频磁控溅射法制备TiOx薄膜及其光响应的研究-厦门大学学报.PDF

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射频磁控溅射法制备TiOx薄膜及其光响应的研究-厦门大学学报

46 4 厦门大学学报( 自然科学版) Vol.46 No. 4 2007 7 Journal of Xiamen U niversity ( Natural Science) Jul. 2007 TiO2- x 陈朝凤, 黄东升, 李玉花, 曾人杰* ( , 61005) : , 250 TiO2- x , XRDSEMXPSUVVis . : , , 0 nm , !, ; 600 2 h , , .XPS : 20% , ; 600 , 8% , . UV Vis , TiO2- x . : TiO2- x ; ; ; ; : TB 8 : A : 04 80479(2007) , 1 000 eV 10 min, , , . , , . , T iO2- x ( . 2 eV, , . . 0 eV ) , , % [ 1] , 1 , . 1. 1 TiO2- x , ( JC500 / D, . ) , ( : 99. 9%) , , 250 , , T iO2- x . = 7 TiO2- x , , ( by vol. ) 24 h, 10 ; 2 [ 2- ] min, 24 h, . , , F∀ . [ 4] , , , Lisachenko TiO2- x . . p , , O2 Ar= . , 7 , 1 Pa, Auger , . ( ) 50 W, 1 . 56 MH z, 4. 5 h Auger , , 1. 1 600 , 2 h, Madelung , 2. . Dektak Se + ries 770 nm . O . [ 5] [ 6] 1. 2 TiO2- x . Onda ( 110) , Pa