微等离子体及其应用!.PDF

物理学和高新技术 微等离子体及其应用! ’，$ ，4 ’，44 ’ $ 张树宇 ! ! 辛! 煜 ! ! 宁兆元 ! ! 梁荣庆 （’! 苏州大学物理科学与技术学院! 江苏省薄膜材料重点实验室! 苏州! $’5%%# ） （ $! 复旦大学现代物理研究所! 上海! $%%6 ） 摘! 要! ! 微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一 微等离子体是被限制在一个有限的 。 空间范围内（尺度为毫米量级甚至更低）的等离子体，它通常能够运行在大气压条件下，它的低功耗、高密度、高稳定 等特性以及其小巧、经济、便携等优势，为其在紫外光源的获得、微化学分析系统、生物医学、材料表面改性和加工、环 境污染物的处理等领域提供了广泛的应用空间。文章对微等离子体及其应用进行了综述，介绍了各种微等离子体源 的产生方法，以及它们在不同领域的研究和应用情况。 关键词! ! 低温等离子体物理学，微等离子体，综述，大气压，表面处理 !#$%’()*( (+, -) (’#(-%+) ’，$ ，4 ’，44 ’ $ 789:; (.=. ! ! ?@: . ! ! :@:; 7(1A=.13 ! ! B@9:; CA3D=E03D （’ !#$%’%() *+, -(. / # 01% 2%)34 ，5+6 (73+7 #/ !1,4%’() 8’%+’+ (9 0+’1#)#:, ，8##’1#; %$+4%7, ，8##’1#; $’5%%# ，=1%( ） $ 47%7?7+ #/ @#9+ !1,4%’4 ，2?9( %$+4%7, ，81(:1(% $%%6 ，=1%( ） （ ./)-$(#-0 0 F02GA*/1HI1 0H 3A, JK2AI03D 13 0I*AG)13) L0K/M AL GKHK1G2( A3 3A3 N )(KGI1/ */1HI1- *1)01/ 2A3= L03KIK3) )A M0IK3H0A3H AL ’II AG /KHH 13M A*KG1)0A3 1) 1)IAH*(KG02 *GKHH.GK D0OKH I02GA*/1HI1 I13P 1MO13)1DKH /0QK /A, *A,KG 2A3H.I*)0A3 ，(0D( MK3H0)P ，(0D( H)1J0/0)P 13M 2A3OK30K3) *AG)1J0/0)P- 9// )(KHK 1MO13)1DKH A*K3 )(K MAAG )A 1 ,0MK G13DK AL 3K, 1**/021)0A3H AL I02GA*/1HI1 03 1GK1H H.2( 1H ./)G1O0A/K) HA.G2KH ，131/P)021/ 2(KI0H)GP ， J0AIKM0203K ，H.GL12K )GK1)IK3) 13M K3O0GA3IK3)1/ GKIKM01)0A3- R(0H *1*KG GKO0K,H 1 O1G0K)P AL IK)(AMH DK3KG1)03D I02GA*/1HI1 13M 0)H 1**/021)0A3H 03 M0LLKGK3) L0K/MH- 1234%$,)0 0 3A3=)(KGI1/ */1HI1 ，I02GA*/1HI1 ，GKO0K, ，1)IAH*(KG02 ，H.GL12K )GK1)IK3)