利用Zernike多项式分析超薄镜热变形.pdfVIP

第15卷第2期 光学精密工程 V01．15No．2 andPrecision 2007年2月 0ptics Engineering Feb．2007 文章编号 1004924X(2007)02一0173～07 利用Zernike多项式分析超薄镜热变形 解 滨，肖志宏，余景池 (苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室，江苏苏州215006) 摘要：利用圆域上正交基一zernike多项式拟合镜面温度场，将温度场转化为较有意义的模式，采用有限元方法进行了热 变形的计算，其中针对空间大口径超薄镜面建立镜面模型，且暂不考虑重力，另外因超薄镜厚度很小，也不考虑轴向温度 梯度的影响。通过计算利用Zernike多项式得到温度场产生的热变形，得到了不同温度模式产生的不同像差形式：即对 于不同的温度场模式一温度整体变化(平移)，一端凉且一端热(倾斜)，中心与边缘温度不同(离焦热模式)，以及像散热 模式，彗差热模式，球差热模式导致的热变形分别主要表