利用Zernike多项式分析超薄镜热变形.pdfVIP

第15卷第2期 光学精密工程 V01．15No．2 andPrecision 2007年2月 0ptics Engineering Feb．2007 文章编号 1004924X(2007)02一0173～07 利用Zernike多项式分析超薄镜热变形 解 滨，肖志宏，余景池 (苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室，江苏苏州215006) 摘要：利用圆域上正交基一zernike多项式拟合镜面温度场，将温度场转化为较有意义的模式，采用有限元方法进行了热 变形的计算，其中针对空间大口径超薄镜面建立镜面模型，且暂不考虑重力，另外因超薄镜厚度很小，也不考虑轴向温度 梯度的影响。通过计算利用Zernike多项式得到温度场产生的热变形，得到了不同温度模式产生的不同像差形式：即对 于不同的温度场模式一温度整体变化(平移)，一端凉且一端热(倾斜)，中心与边缘温度不同(离焦热模式)，以及像散热 模式，彗差热模式，球差热模式导致的热变形分别主要表现为像差离焦，倾斜，离焦，倾斜，倾斜，球差。不同热模式在相 同温差下产生的变形有数量级的差别，能够产生较大变形量的温度模式有离焦，彗差和球差，这意味着超薄镜对这些温 度场比较敏感。计算和总结表明，利用Zernike多项式分解温度场，可以对热变形规律进行有效的分析，解决了镜面温度 分布随时问变化使得热分析较为不准确的困难。 关键词：热变形；zernike多项式；超薄镜；有限元法 中图分类号：TH703文献标识码：A thermaldeformationofultra—thin Analyzing mirrorZernike using polynomials XIE Bin，XIAO Zhi—hong，YUJing—chi (Ji“咒95“Pro锄i规c8KgyL口60r“￡oryo，Mod8r咒0p￡ic口ZTPc矗佗oZogy， SDoc矗o∞Lki劬Pr5i￡y，S“z^o甜215006，(流i舱口) deformationan rolein diameter withultra—thin Abstract：Thermal playsimportantlarge opticssystem and thermal mirror．For the deformationofultra—thinmirror，a simula～ analysingspecificquantitive methodof distributionZernike is The is ting temperature by polynomialspressented． todifferentthermalmodes theirown inthermaIfield．For tiIt spreaded having meanings exampIe，the meansthat is inoneendandlowontheother thermal thermalmode temperaturehigh end．Summing deformation