利用一次正、二次逆压电效应设计可作动传感器研究.pdfVIP

第48卷第4期 大连理工大学学报 VoI．48。No．4 2 0O8年7月 of of J词y2 0 08 JournaIDaIian UniVersityTechnology 利用一次正、二次逆压电效应设计可作动传感器研究 史丽萍1’2， 孙宝元“， 钱 敏1 (1．大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116024； 2．黑龙江大学机电工程学院，黑龙江哈尔滨 150080) 摘要：进行了一次正压电效应、二次逆压电效应的理论分析与实验验证．理论与实验均证 明．压电体通过一次正压电效应产生的电位移。及通过二次逆压电效应产生的应变与应力均 与施加外力具有良好的线性关系．由于一次正、二次逆压电效应是在同一压电体内存在的双向 效应。其原理特别适合于传感器、执行器集成一体化的研究．因此，利用压电体的一次正压电效 应可以测量外力，作为传感器使用；同时利用该压电体的二次逆压电效应可以输出一个微位 移。作为执行器使用．提出了利用该原理设计“可作动传感器”的实现方案．并证明了其可行性． 关键词：一次正压电效应；二次逆压电效应；可作动传感器 中图分类号：0738文献标志码：A O 引 言 电位移D为因变量，相应的第一类压电方程为 Si=s；丁，+d耐E。 (1) 压电传感器和压电执行器已广泛应用于许多 D。=d。T』+￡二E。 (2) 研究领域，而一次正压电效应原理、一次逆压电效 应原理分别是设计压电传感器和压电执行器的理 场强度E—o，C时的弹性柔顺常数，即短路弹性 论基础． 柔顺常数；￡二为应力丁一0，C时的介电常数，即 同时利用压电材料的一次正、一次逆压电效 自由介电常数；以和d叫为压电应变常数． 应，即利用压电材料的双向可逆效应可以进行传 压电材料在作为传感器使用时，有外力施加 感器与执行器集成一体化研究．传感执行器的研 在压电体上，无外加电场，此时压电方程简化为 究是近十几年来压电应用领域内新兴的方 向[1~3]，其原理为在同一压电体上分别利用一次 si—s；T』 (3) 正、一次逆压电效应作为传感器和执行器使用，例 D，一d。iTj (4) 如基于空分复用与时分复用原理[4]可以在同一压 1．2一次正压电效应实验 电体上实现传感器功能与执行器功能的切换． 一次正压电效应实验中使用的实验设备主要 本文提出一种利用同一压电体的一次正压电 有压电石英叠堆、PZT一5压电陶瓷叠堆、三向力加 效应作为传感器、二次逆压电效应作为执行器的 新的压电传感器与执行器集成方法——可作动传 数据采集卡等．如图1． 感器的研究方法，以期为传感器与执行器集成一 1．2．1石英叠堆的一次正压电效应 使用22片 体化的理论与应用研究提供新的发展方向． X0。切型(纵向伸缩型)石英晶片按机械串联、电