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利用三光束激光干涉仪评估纳米平台的移动性能.pdf
第19卷第9期 光学精密工程 V01．19No．9
andPrecision
2011年9月 Optics Engineering Sep．2011
文章编号1004—924X(2011)09—2284—09
利用三光束激光干涉仪评估纳米平台的移动性能
王世华。，陈秀玲，徐淦
(国家计量中心新加坡科技研究局，新加坡118221)
摘要：纳米位移传感器多集成在纳米平台的平行移动柔性机构中，通过闭环控制回路来实现纳米级的平台移动精度，本
文介绍了利用具有亚纳米分辨率的三光束单频激光干涉仪校正纳米级电容式线性移动平台位移的工作，阐述了校正测
试系统的布局以及线位移和角度位移的校正测试原理。通过实验成功地对移动线位移320pm的纳米平台进行了校正，
实验数据表明。该平台的偏摆最大角位移为3．5”。另外，对该校正系统进行了测量不确定度分析，在覆盖因子七=2时。
它的扩展不确定度为(1．8+1．23×10-2L)am，测试长度L的单位是扯m，由此显示该系统可有效评价纳米平台的移动
性能。
关键词：电容式纳米平台；纳米位移传感器；激光干涉仪
中图分类号：TH703；TH744．3文献标识码：A doi：10．3788／OPE2284
Evaluationof movement
nano-stage by
using
laser
interferometer
triple-beam
WANGShi—hua。，TAN Gan
Siew-leng，XU
(National and I18221)
MetrologyCentre，AgencyforScience，Technology
Research，Singapore
*Corresponding
Abstract：Nanosensorsare intoflexuretranslationtoforma
integrated
generally stages closed-loop
feedbacktocontrolthemovementofthe inanano-scaleorder．Toevaluatethedis-
stageaccurately
of
placementnano—stages，a
interferometerwithasub～nanometreresolutionwas tocalibratethe ofthelinear
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