基于质量流量混合法的实时配气系统设计ADesignofRealtimeand.PDFVIP

基于质量流量混合法的实时配气系统设计 王东方 1,2,魏庆农 1,2,刘世胜 1,2,冯巍巍 1,2，詹锴 1，2 （1 中国科学院安徽光学精密机械研究所 中国科学院环境光学重点实验室 合肥 230031;2 安徽省环境光学重点实验室 合肥 230031 ） 摘要:介绍了一种基于质量流量混合法的实时动态配气系统.该系统采用了高精度的质量流 量控制器,可用于配制各种低浓度的标准气体,以满足工业应用和科学研究中标准气体的需 求. 关键词: 质量流量混合法;质量流量控制器; 配气系统 中图分类号: TP271 文献标识码: B A Design of Realtime and Dynamic Gas Confection System based on the Method of Mass Flow Mix （WANG Dong-fang1,2,WEI Qing-nong1,2,LIU Shi-sheng1,2, FENG Wei-wei1,2， ZHAN Kai1,2 ） (1 Key Lab of Environmental Optics Technology, Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences; 2 Key Lab of Environmental Optics of Anhui Province, Hefei 230031) Abstract:This paper introduces a realtime and dynamic gas confection system based on the method of mass flow mix .This system applying high precision Mass Flow Controller(MFC) can be used for confecting kinds of low concentration standard gas, to supply standard gas for industry and science research . Keywords: Method of mass flow mix; Mass Flow Controller(MFC); Gas confection system 1 引言: 环境保护、环境监测已经成为当今社会的热门话题,随着国家对该领域的重视和投入的 不断加大，国内各大学、研究所及工厂企业对 ppm、ppb 量级的各种挥发性、腐蚀性、吸附 性气体的标准气体需求不断增加.而这些组份气体所配的标准气体稳定周期比较短,不宜长 期存储使用,因此研制和开发该类标准气体的新式配气系统引起了相关行业的极大关注.当 前,国内用重量法配制的此类气体的钢瓶装标准气体存在不确定度大且稳定性差的缺点,无 法满足实际的需要,制约了该类痕量组份的精确定量检测,因此开展此类标准气体的实时的、 动态的配气系统研制显得极为重要.[1] 2 系统的整体构架及配气原理 图 1 配气系统框架图 整个系统主要包括电子学控制系统(图 1 左框图内)和气体管路系统(图 1 右框图内),其 中电子学控制系统 MCU 采用 AT89C52 单片机,主控电路板输出两路精密模拟电压给两路质量 流量控制器,通过键盘及 LCD 达到输入输出控制及显示功能.气体管路系统主要有两路,一路 用来控制稀释气体,一路用来控制样品气体,管路的开闭由电磁阀控制,流量通过质量流量控 制器控制,两路气体在混合室内充分混合后输出.该系统精度高、稳定性好、线性较佳且操作 方便,是理想的标准气体动态配气系统. 该配气系统的基本原理为质量流量[2]混合法.系统采用高精度的质量流量控制器,通过 控制稀释气体及样品气体的流量从而达到配气的目的,稀释气体可采用高纯氮气、氩气、以 及零气等.配置标准气体时,根据所要配置的气体浓度和浓度校准曲线,在仪器上设定样品气 体和稀释气体的流量即可. F C 样 C 标