元胞方法与蒙特卡洛方法相结合的薄膜生长过程模拟阮聪-物理学报.pdfVIP

元胞方法与蒙特卡洛方法相结合的薄膜生长过程模拟 阮聪 孙晓民 宋亦旭 CellularmethodcombinedwithMonteCarlomethodtosimulate the thin filmgrowth processes RuanCong SunXiao-Min SongYi-Xu 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,038201(2015) DOI: 10.7498/aps.64.038201 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.038201 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I3 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 结合实际刻蚀数据的离子刻蚀产额优化建模方法 Anoptimizationmethodforionetchingyieldmodelingcombined with factual etchingdata 物理学报.2014,63(24): 248201 /10.7498/aps.63.248201 基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法 Anoptimizationmethodforionetchingyieldmodelingbased on etching velocitymatching 物理学报.2014,63(4): 048201 /10.7498/aps.63.048201 基于压缩表示的离子刻蚀仿真三维表面演化方法 A3Dprofileevolutionmethodofionetchingsimulationbased on compressionrepresentation 物理学报.2013,62(20): 208201 /10.7498/aps.62.208201 基于三维元胞模型的刻蚀工艺表面演化方法 Athree-dimensionalsurfaceevolutionalgorithmbasedon cellular model for etching process 物理学报.2013,62(10): 108201 /10.7498/aps.62.108201 染料敏化太阳电池内部光路折转对电子传输特性的影响 Effectoflightpathfoldingonthepropertiesofelectrontransport indyesensitized solar cell 物理学报.2012,61(16): 168201 /10.7498/aps.61.168201 物理 学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 3 (2015) 038201 元胞方法与蒙特卡洛方法相结合的薄膜生长 过程模拟 阮聪 孙晓民 宋亦旭 (清华大学计算机科学与技术系, 智能技术与系统国家重点实验室, 清华大学信息科学与技术国家实验室, 北京 100084) ( 2014 年7 月22 日收到; 2014 年9 月17 日收到修改稿) 利用仿真方法从原子尺度研究薄膜生长过程是当前薄膜研究领域的热点. 目前, 仿真方法主要在纳米尺 度模型实现, 时空需求很大. 针对这一问题, 本文提出元胞和蒙特卡洛相结合的模拟方法, 实现对微米尺度模 型薄膜生长过程的模拟. 利用元胞方法来实现模型表示以及演化计算, 从而降低对内存空间的要求, 提高计 算效率, 并使用蒙特卡洛方法计算粒子的扩散概率. 通过对氮化硅薄膜生长过程进行具体研究, 将模拟结果 与实际实验结果和分子动力学演化结果进行表面形貌和成分的比较, 验证了该方法的有效性. 关键词: 薄膜生长, 元胞方法, 蒙特卡洛方法 PACS: 82.20.Wt, 81.16.–c, 81.15.Aa DOI: 10.7498/aps.64.038201 基于此, 本文提出元胞和蒙特卡洛相结合的仿 1 引 言 真方法, 用于对薄膜生长过程的模拟. 为了进行较