螺线管式自感传感器结构.PPT

第3章 电感式传感器 3.1 自感式传感器 电感式传感器与其它传感器相比，具有以下优点： 1) 结构简单，工作可靠，测量力小。 2) 分辨率高。能测量0.1μm甚至更小的机械位移，能感受0.1角秒的微小角位移； 3) 输出信号强。电压灵敏度一般可达数百毫伏每毫米，因此，有利于信号的传输和放大。 4) 重复性好，线性度高。在一定位移范围 (最小几十微米，最大可达数十至数百毫米) 内，输出线性度可达±0.1%，且比较稳定。 主要缺点： 1）存在零点残余电压； 2）灵敏度、线性度和测量范围相互制约； 3）传感器自身频率响应低，不适用于快速动态测量。 3.1 自感式传感器 3.1.1 闭磁路自感式传感器 2）非线性误差 3.1.2 　开磁路自感式传感器 3.1.3 转换电路 1．调幅电路 3.1.4 零点残余电压 1、零残现象及定义 在差动式自感传感器及差动式变压器中。若采用交流桥路（如变压器电桥）为变换电路，当线圈的设计阻抗相同时，在其零点的附近位置，有输出电压，该微小电压称零点残余电压。 2、造成零点残余电压的主要原因 （1）差动式自感传感器的两个线圈不完全对称。如几何尺寸不对称、 电气参数不对称及磁路参数不对称； （2）存在寄生参数； （3）供电电源中有高次谐波，而电桥只能对基波较好地预平衡； （4）供电电源很好但磁路本身存在非线性； （5）工频干扰。 ①设计时，尽量使上、下磁路对称；并提高线圈的品质因素Q=ωL/R； 3.1.5 自感式传感器的应用 自感式传感器有如下几个特点： 1）灵敏度比较好，目前可测0.1μm的直线位移，输出信号比较大、信噪比较好； 2）测量范围比较小，适用于测量较小位移； 3）存在非线性； 4）功耗较大，尤其是单极式自感传感器，这是由于它有较大的电磁吸力的缘故； 5）工艺要求不高，加工容易。 3.2 互感式传感器 3.2.1 螺线管式互感传感器 3.2.2 互感式传感器的应用 3.3 电涡流式传感器 基本概念 电涡流式传感器是一种建立在涡流效应原理上的传感器。 涡流效应：金属导体置于变化的磁场中，在金属导体内会产生感应电流—涡电流，这种电流在金属体内是闭合的。 形成涡电流的两个条件： ①有交变磁场；②导电体位于交变磁场中。 涡流传感器主要由产生交变磁场的通电线圈和置于线圈附近的金属导体（可以是被测物）两部分组成。 电涡流传感结构简单、频率响应宽、灵敏度高、测量范围大、抗干忧能力强，特别是有非接触测量的优点，因此在工业生产和科学技术的各个领域中得到了广泛的应用。 3.3.1 工作原理 3.3.2 简化模型及等效电路 图中R1、L1为传感器线圈的电阻和电感。短路环可认为是一匝短路线圈，其电阻为R2、电感为L2。线圈与导体间存在一个互感系数M，它随线圈与导体间距x 的减小而增大。 根据等效电路可列出电路方程组： 通过解方程组，可得I1、I2。 因此传感器线圈受到金属导体（涡流）影响后的复阻抗为： 高频线圈的等效电阻为： 其中： 为反射电阻----涡流回路 电阻折算至高频线圈。 高频线圈的等效电感为： 其中： 为反射电感----涡流回路 电感折算至高频线圈。 由以上分析可以看出： ①等效阻抗中的电阻Req总比原高频线圈的电阻R1要大。 这是由于涡流损耗、磁滞损耗都将阻抗的实部增加。 ②等效电感Leq与磁效应有关。 因为高频线圈电感L1与金属导体的磁性质有关：当金属为磁性材料， L1将增大；非磁性材料，则不会影响L1。 此外，等效电感中第二项与涡流效应有关：涡流引起的磁场H2将使等效电感减少，且x越小，电感减少的程度就越大。 等效电阻和等效电感，也常用线圈的品质因数Q来描述，定义为： 3.3.3 转换电路 （1）调幅法 其原理如图3.21所示。L为传感器线圈电感；C 为谐振电容；石英振荡器产生稳压稳频的高频激励电压。 3.4 压磁式传感器 3.4.1 工作原理 3.4.2 工作方式 3．维捷曼(威德