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功率VDMOS开关特性与结构关系

1998 2 Feb. 1998 25 1 JOURN ALOFXIDIANUNIVERSITY Vol. 25No . 1 VDMOS 戴显英 张鹤鸣 李跃进 王 伟 ( 710071) VDMOS 的开关时间对其开关功耗和频率特性有直接影响. 者设计和制造 了 种体内结构与常规VDMOS相同, 而表面结构不同的器件. 实验结果表明, 这 种结 构器件的开关时间都明显减小. VDMOS 器件结构 开关时间 T N 86. 1 VDM OS ( Vertical double diffusion metal-oxide-semiconductor field effect transistor) , , , . VDM OS, . , V DM OS . , . , VDM OS, VDMOS. VDM OS , P . [ 1] P . [ 2] P 0. 5 , m P VDM OS49% %, . VDM OS4 , . 1 [ ] VDM OS t dtr t st f : V th td = Cin R g ln 1 - , ( 1) V gs V gs - V th tr = Cin R g ln , ( 2) V gs - v gs Vgs ts = Cin R g ln , ( ) v gs v gs tf = Cin R g ln , ( 4) V th R g , V th , Vgs ,v gs 10% . Cin . ( 1) ( ) , Cin = Cgs + Cgd, ( 5) . : 第1 期             戴显英等: 功率VDMOS 开关特性与结构关系 99 ( 2) (4) , Cin = Cgs + ( 1 + k) Cgd. ( 6) Cgs , Cgd , k = -

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