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功率VDMOS开关特性与结构关系
1998 2 Feb. 1998
25 1 JOURN ALOFXIDIANUNIVERSITY Vol. 25No . 1
VDMOS
戴显英 张鹤鸣 李跃进 王 伟
( 710071)
VDMOS 的开关时间对其开关功耗和频率特性有直接影响. 者设计和制造
了 种体内结构与常规VDMOS相同, 而表面结构不同的器件. 实验结果表明, 这 种结
构器件的开关时间都明显减小.
VDMOS 器件结构 开关时间
T N 86. 1
VDM OS ( Vertical double diffusion metal-oxide-semiconductor field effect transistor)
, , ,
. VDM OS,
. , V DM OS .
, . ,
VDM OS, VDMOS. VDM OS
,
P
.
[ 1] P . [ 2] P
0. 5 ,
m P
VDM OS49% %, .
VDM OS4 , .
1
[ ]
VDM OS t dtr t st f :
V th
td = Cin R g ln 1 - , ( 1)
V gs
V gs - V th
tr = Cin R g ln , ( 2)
V gs - v gs
Vgs
ts = Cin R g ln , ( )
v gs
v gs
tf = Cin R g ln , ( 4)
V th
R g , V th , Vgs ,v gs
10% . Cin . ( 1) ( ) ,
Cin = Cgs + Cgd, ( 5)
. :
第1 期 戴显英等: 功率VDMOS 开关特性与结构关系 99
( 2) (4) , Cin = Cgs + ( 1 + k) Cgd. ( 6)
Cgs , Cgd , k = -
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