微小型质谱仪的新型MEMS离子阱研究.PDF

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2018-08-17 发布于天津
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微小型质谱仪的新型MEMS离子阱研究

第4期2015年8月现代科学仪器 NO．4 5 ModemScientificInstruments Aug．201 ·41· 微小型质谱仪的新型MEMS离子阱研究肖军徽1’5黄刚2李铁’ 1 (1中国科学院上海微系统与信息技术研究所上海200050；2中国航天科研训练中心北京00094； 1 5中国科学院大学北京 00049) 摘要微小型离子阱质谱仪凭借其优异的分辨率、准确度以及灵敏度在危险检测、环境以及食品安全检测、临床研究等方面有着广泛的应用。针对国际上MEMS小型离子阱制备存在对准难度高、端盖表面翘曲等的问题，提出了一种采用三层硅片键合的圆柱形离子阱的制备方法，将分离制备的端盖电极与端盖电极进行键合，以降低制备难度和对准精度要求，解决翘曲问题，同时提升器件结构尺寸的可操纵性，对制备过程中的金一金键合工艺进行优化，为未来微小型化质谱仪的应用奠定了良好的基础。关键词离子阱；MEMS；质谱仪；小型化中图分类号0657．63文献标识码A ResearchonMEMSIon forMicroMass Trap Spectrometer XiaoJun．huil,3 Tiel HuangGan92，Li (1Scienceand on Institute andInformation TechnologyMicrosystem Laboratory,ShanghaiofMicrosystem of Researchand 200050，China；2China Technology,ChineseAcademySciences，Shanghai Aerospace 100094，China；3UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) TrainingCenter,Beijing AbstractMass is usedon research spectrometerwidely airportsecurity,environmental，foodsafetymonitoring，clinical duetoits newfabricationmethodforion whichisthe ofmass key resolution，accuracy,sensitivity．A trap component basedonMEMS is tosolvethe of and toarticl