采用硅犞型槽的一维光纤阵列的研制-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １ Ｊａｎ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０１００８９０６ 　 采用硅 型槽的一维光纤阵列的研制 犞 ， １ １２ 梁静秋 ，侯凤杰 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 １． 应用光学国家重点实验室，吉林 长春， ； 中国科学院 研究生院 北京 ） １３００３１２． １０００３９ 摘要：阐述了一维光纤阵列的研制方法，分析了 型槽法中硅 型槽腐蚀机理，计算了 型槽的开口及间距与光纤半径 Ｖ Ｖ Ｖ 及纤芯截面圆心距的关系，给出了最小槽深与光纤半径及 型槽开口的关系式。用各向异性腐蚀技术制作了硅 型 Ｖ Ｖ 槽，比较了紫外及红外粘接剂的性能，进行了光纤的排列、粘接及抛光，制作出一维光纤阵列。用原子力显微镜测量光纤 阵列表面粗糙度为纳米量级，用 ＺＹＧＯ数字干涉仪检测光纤的端头位置误差为 ３ ５ ｍ。该项工作为二维光纤阵列的 ～ μ 高精度制备奠定了基础。 关 键 词：光纤阵列；硅 型槽；各向异性腐蚀；端面检测 Ｖ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ２５３ Ａ 　　 犗狀犲犱犻犿犲狀狊犻狅狀狅狋犻犮犪犾犳犻犫犲狉犪狉狉犪 狑犻狋犺狊犻犾犻犮狅狀犞狉狅狅狏犲狊 狆 狔 犵 ， １ １２ ， ＬＩＡＮＧＪｉｎｉｕ ＨＯＵＦｅｎｉｅ ｇｑ ｇｊ （ ， ， １．犛狋犪狋犲犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅