蓝宝石晶与体生长技术 .ppt

蓝宝石晶体生长技术 四、蓝宝石晶体生长 5.缩颈 缩颈，即使晶体的直径尽可能缩小（取决于所负担的晶片的质量）。缩颈的作用：减少籽晶中的遗传缺陷。在缩颈过程中，任何非轴向的位错都可以被逐步排除掉。用增加提拉速率或稍微升高熔体的温度来达到（一定要严格控制温度的变化，温度过高，籽晶熔化；温度太低，缩颈效果不明显）。 6.扩肩（低温、低速） 缩颈后，调设备到低速（3-8mm/h），开始扩肩。扩肩其实是一个缓慢地降温过程，低速扩肩有利于消除位错和晶粒间界，晶片的宽度和模具口一样宽即可认为是扩肩已扩满，扩肩角度一般以120度左右为佳。扩肩使晶体沿着籽晶从模具中间向两边缓慢生长，，扩肩时允许中部有少量低温，但不可太低否则会引起晶体炸裂，温度太高会拖长生产时间，拉速由慢而快。 7、等径生长 扩肩结束后，进行等径生长，使温度稍微升高，防止低温现象的产生；拉速由慢而快，理论分析表明，V=0.5mm/min时，是合理的拉速条件，Vmax 0.7mm/min。拉速太快，易形成泡状界面，在波谷之处，易夹生气体，造成在晶片中产生气泡。在温场稳定的情况下，等径生长时的温度和拉速可以不变，但在实际生产中，由于各方面的原因，经常出现低温和高温的现象。低温时，晶片出现玻璃碎片状的条纹，严重时，在晶体长到一定长度后，会在低温处断裂。这就需要调高温度，并降低拉速，以减少条纹的延伸。高温时，晶片向内收缩，直径减少。这时要降低温度，减小拉速。在生长过程中，要不时地调节温度的变化，并要求温度的调节与拉速的调节要相匹配。 8.退火 晶体生长完毕又完成与坩埚脱离程序后，必须让晶体在炉体内缓慢的降温冷却，利用冷却过程来使晶体进行退火，以消除晶体在生长时期内部所累积的内应力，避免所残留的内部应力，造成晶体在降温时因释放应力而产生龟裂。待完成退火后，关掉加热电压，继续冷却。 9.降温 等晶体完全脱离模具口时开始降温。降温要按先慢后快。待功率降到底时，关闭中频电源和和控制柜电源。待完全冷却后取出晶体。 俄罗斯EZAN RAS晶体生长实验室 a）管状和棒状蓝宝石 c)锥形蓝宝石晶体和模具 b）圆顶蓝宝石 c)锥形蓝宝石晶体和模具 美国Locher等采用导模法批量生长出225mm×660mm，305mm×510mm高质量的板状蓝宝石单晶，且在不镀膜的情况下，经研磨、抛光后厚度为6.15mm面板，对于700nm波长光平均透过率达84.0%±0.5%， 抛光前 抛光后 导膜法生长某些宝石晶体的工艺条件 60 约120 15—20 5 8—60 20—140 — 500 — 5—7 — — 20—50 60 [110] [211] [110] [001] [111] [0001] [0001] Z轴 1825 2105 1900 1950 2050 2050 — 铱 铱 钼 铱 钼 钼 铂 钆镓石榴石（GGG） 尖晶石（MgAl2O4） 金绿宝石（Be Al2O4） 钇铝石榴石（YAG） 红宝石（Al2O3） 无色蓝宝石（Al2O3） 钽铌酸锂（LTN） 生长速度/(mm/h) 温度梯度/(℃/mm) 生长方向 熔点/℃ 坩埚与模具材料 晶体名称 导膜法生长出的晶体具有以下几个特点： （1）生长速度快，可降低功耗； （2）能够直接从熔体中拉制出丝、管、杆、片、板以及其他各种特殊形状、大面积的晶体。 （3）能够获得成分均匀的掺质晶体。 （4）易于生长出具有恒定组分的共熔体化合物晶体，从而克服了提拉法生长晶体所发生的相分离作用； （5）易于生长出无生长条纹的、光学均匀性好的晶体 主要缺点： （1）生长条件的控制要求非常严格，如生长速率、温场参数都会影响晶体的质量；（2）模具易使熔体造成污染；（3）晶体中易出现微小气泡等缺陷。 此法生长出的晶体缺陷主要包括以下几个方面： ①固态包裹物 熔体导膜法生长出的晶体，通常不存在未熔化的粉料包裹体，但可能存在导膜金属的固体包裹体。 ②存在籽晶及其缺陷 因为熔体导膜法与提拉法一样使用了籽晶，所以生长出的晶体必然有籽晶的痕迹，并且籽晶的缺陷也可能进入到晶体中。 ③气态包裹物 熔体导膜法生长的晶体常含有气态包裹物。晶体内部可发现直径在0.25—0.5μm范围大小的气泡，且气泡分布不均匀。气态包裹物的成因有以下几点： a.由于结晶过程中熔体的收缩作用和蜂窝状界面的出现，使熔体的热分布释放出微量气体被捕获，形成气态包裹物。 b.模具顶端熔体的对流作用常扰动结晶前沿平坦固液界面形状的稳定状态，从而增加对气泡的捕获作用。 c.提拉速度过大，超过了晶体临界生长速率时，固液界面会全部变成不稳定状态，结晶前沿产生小面化现象，气泡也会大量地被捕获。 d.生长环境的清洁程度