利用表面声波延迟线探讨湿度感测器之研究.PDF

利用表面聲波延遲線探討濕度感測器之 研究 THE STUDY OF HUMIDITY SENSOR BY SAW DELAY-LINE 研 究 生 ：曾 士 軒 Shih-Hsuan Tseng 指導教授 ：吳 慕 鄉 教授 Prof. Mu-Shian Wu 大 同 工 學 院 電 機 工 程 研 究 所 碩 士 論 文 Master Thesis Department of Electrical Engineering Tatung University 中華民國八十九年七月 JULY 2000 摘 要 在環境控制中 ，可靠的氣體與溼度的感測變的越來越重要。尤其是溼度方 面的偵測，在高科技業或食品業等與環境因素有很大關係的工業應用更是迫切。 而目前在已商業化之半導體材料中，氧化錫由於在高溫時對低濃度的氣體及溼度 有較高的靈敏渡，故常被製成電阻式或電容式的偵測器用以偵測氧化還原氣體。 但此種反應器因需在高溫操作以及較慢的反應速度等缺點，故利用表面聲波所研 製的感測器恰好可改善這些缺點並有更廣泛的應用空間，而這也是本篇論文的主 要動機。 表面聲波， 自 1887 年由萊里所發現後，就已開始廣泛地運用在各種通訊產 品如雷達、呼叫器、行動電話等。但近來，表面聲波在感測器方面的應用，也越 來越受到矚目。表面聲波感測器不但有常溫操作以及很高的靈敏度等優點，更可 配合本身在射頻方面的卓越特性，可深入惡劣或有毒的環境進行無線遙控偵測。 而在各種不同結構之表面聲元件中，具有一致電極重疊寬度的表面聲波延遲線是 較易製作與設計的。因此，利用此簡單的結構，一方面可提升製作表面聲波元件 時之成功率，另一方面也可降低成本。 而氧化鋅由於其極佳的壓電特性，及其易於利用濺渡法沉積於各種基板上 的特性，近年來廣泛地被選取為成長壓電性薄膜的材料。而康寧 7059 玻璃基板， 由於其熱膨脹係數與氧化鋅單晶相近似，所以被選為成長氧化鋅薄膜時的基板。 基於以上之理由，在本篇研究中，乃以具壓電性之氧化鋅薄膜搭配具相似熱膨脹 係數之康寧 7059 玻璃為基板以減低應力，並當作本篇論文中表面聲波延遲線元 件之主要架構。 透過高優選方向的氧化鋅薄膜及利用舉昇法所研製出的交趾狀電極，形成 一表面聲波延遲線之結構。而在兩對交趾狀電極之中間，分別以磁控濺渡法及旋 轉之方式沉積氧化錫及吸濕性之聚合物，並利用頻譜分析儀觀察不同材料對於溼 度感測於頻率、損失及相位上之變化。除此之外，在本研究中，也將探討利用不 同的半導體薄膜之組合對於整個溼度偵測之影響以及空氣中的水氣分子與不同 的材料間的反應機制。 IV ABSTRACT Reliable humidity or gas detection is becoming great important in environment control. In particular, precise humidity detection is necessary in the industry of high technology and food. Among the commercialized semiconductor material, Tin dioxide is usually been fabricated as resistive type or capacitive type detector to detect oxidizing/reducing gas due t