光干涉法高精度材料线膨胀系数测量-计量学报.PDF

第３３卷　第１期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３３，№ １ ２０１２年　１月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　Ｊａｎｕａｒｙ，２０１２ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１２．０１．０１ 光干涉法高精度材料线膨胀系数测量 张旭东，　苏永昌，　叶孝佑 （中国计量科学研究院，北京 １０００１３） 摘要：中国计量科学研究院研制的高精度材料线膨胀系数测量装置，满足温度范围为５～４０℃、被测件长度在 ２０～１０００ｍｍ之间的线膨胀系数测量。采用激光干涉法测量被测件长度变化量，用高精度温度传感器测量温度 值。设计了热平衡式干涉镜，利用空气折射率修正和零位误差补偿技术，保证在５～４０℃变温范围内激光干涉仪 的测量精度。以５００ｍｍ标准量块作为测量对象，线膨胀系数测量结果与德国物理技术研究院（ＰＴＢ）测量结果的 －８ －１ 相对偏差为０２％。材料线膨胀系数测量不确定度达到３×１０ Ｋ 。 关键词：计量学；线膨胀系数；激光干涉测量；空气折射率；不确定度 中图分类号：ＴＢ９２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１２）０１０００１０４ ＴｈｅｒｍａｌＥｘｐａｎｓｉｏｎＣｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｗｉｔｈ ＰｒｅｃｉｓｉｏｎＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ ＺＨＡＮＧＸｕｄｏｎｇ，　ＳＵＹｏｎｇｃｈａｎｇ，　ＹＥＸｉａｏｙｏｕ （ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｔｈｅｒｍａｌｅｘｐａｎｓｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓｗｉｔｈＮＩＭ’ｓｐｒｅｃｉｓｉｏｎｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒａｒｅｄｅｓｃｒｉｂｅｄＴｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ａｒｅｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｌｅｎｇｔｈｃｈａｎｇｅｏｆｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｓａｍｐｌｅｓａｓａｆｕｎｃｔｉｏｎｏｆａｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｕｓｉｎｇｌａｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙＴｈｅｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒａｎｄｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｓａｍｐｌｅｕｐｔｏ１ｍａｒｅｓｉｔｕａｔｅｄｉｎａｔｉｇｈｔｅｎｃｌｏｓｕｒｅｗｈｉｃｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｉｓ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄｂｙａｗａｔｅｒｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎｗｉｔｈｉｎａｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｒａｎｇｅｆｒｏｍ５℃ ｔｏ４０℃Ａｈｅａｔｂａｌａｎｃｅｄｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｍｉｒｒｏｒｗａｓ ｄｅｓｉｇｎｅｄＡｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｓｙｓｔｅｍｉｓｕｓｅｄｆｏｒｍｅａｓｕｒｉｎｇｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｏｆｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｓａｍｐｌｅａｎｄ ｔｈｅａｉｒＴｈｅａｃｃｕｒａｔｅｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｏｆａｉｒａｎｄｔｈｅｒｅａｌｔｉｍｅｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎｏｆｚｅｒｏｅｒｒｏｒａｒｅ ａｃｃｏｍｐｌｉｓｈｅｄＵｓｉｎｇａｎ５００ｍｍｇａｕｇｅｂｌｏｃｋ，ｔｈｅｒｍａｌｅｘｐａｎｓｉｏｎｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｉｓｍｅａｓｕｒｅｄｗｉｔｈａｒｅｌａｔｉｖｅｄｅｖｉａｔｉｏｎｏｆｌｅｓｓ ｔｈａｎ０２％，ａｎｄｉｔｗａｓｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｔｈｏｓｅｏｆＰｈｙｓｉｋａｌｉｓｃｈＴｅｃｈｎｉｓｃｈｅＢｕｎｄｅｓａｎｓｔａｌｔ（ＰＴＢ）ｏｆＧｅｒｍａｎｙＴｈｅｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ －８ －１ ｏｆｔｈｅｒｍａｌｅｘｐａｎｓｉｏｎｃａｎｂｅｏｂｔａｉｎｅｄｗｉｔｈａｕｎｃｅｒｔａｉｎ