蠕动式精密直线驱动器-吉林大学学报.PDFVIP

第 33 卷第2 期 Vo1. 33 No.2 吉林大学学报(工学版) 2003 年 4 月 Journal of Jilin University (Engineering and Technology Edition) Apr. 2003 文章编号:1671--5497(2003)02 一 0020- 05 蠕动式精密直线驱动器 李欣欣，卢全国，杨志刚，程光明，曾 平 (吉林大学机械科学与工程学院，吉林长春 130025) 摘 要:基于蠕动原理和误差补偿技术，用压电陶瓷作为动力源设计了一种精密直线驱动器。 建立了驱动器的动力学模型，并制作了样机。试验表明:在计算机间环控制下，该驱动器能够 可靠地实现双向运动。在行程为 1 mm 时，定位精度达到:t O. 01μm; 有效驱动力为 20 N。 关键词:蠕动;误差补偿;压电陶瓷;闭环控制 中图分类号:TH603 . 8 ; TP242 文献标识码:A Precision Iinear actuator of piezoelectric based on wriggle principle LI Xin-xin , LU Quan-guo , YANG Zhi-gang , CHENG Guang-ming , ZENG Ping (College 01 Mechanical Science and Engineering ,]ilin University , Changchun 130025 , China) Abstract: Based on the wriggle principle and error compensation method ,a precision linear actuator and its dynamic model were presented. Under the closing 1∞p control of PC , the actuator can provide stable step ping movement in the stroke of 1 mm ,the positioning accuracy of :t 0.01μm and the force output of 20 N. Key words: wriggle; error compensation; piezoelectric; closing 1∞p control 精密驱动器是工业领域的重要器件。在机械制造、生物工程、医疗、半导体生产、光学加工以及航空 航天领域有着广泛的需求。传统的精密驱动器主要采用精密丝杆副及滚动(或滑动)导轨、精密螺旋模 块机构、涡轮-凹轮机构、齿轮-杠杆式机构等作为动力与运动转换方式。由于摩擦、间隙、爬行、多环节 传动等原因，其运动精度、定位精度很难达到亚微米级[1-4] 。 压电陶瓷是近年来精密驱动领域广泛运用的一种新型材料。其特点是可实现高分辨率的运动，而 且响应快，没有空回、帖滑等现象。因此引起了广泛重视，并在精密驱动方面开发形成了一些新的机构， 取得了一些研究成果和较成熟的应用技术。但在研究和应用过程中也存在一些问题，如小行程的精密 驱动器在应用上存在较大的局限性，难以满足大部分精密驱动的需要。而大行程的精密驱动器普遍存 在着大行程与高精度的矛盾[5] 。为此本文基于蠕动原理和误差补偿方法提出了一种可实现大行程、高 精度的精密直线驱动器。在计算机闭环控制下，该驱动器能以蠕动的方式快速运动，并通过误差补偿达 到高精度定位，从而满足实际工作中大行程与高精度的要求。 收稿日期:2002-12.14 0 基金项目 :863 国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA423150) 。 F者简介:李欣欣(1952 - )，男，河北饶阳人，副教授。