移相干涉术21引言22干涉术原理67.PDFVIP

第二章 移相干涉術 2.1引言 干涉術已經成為現代精密量測以及非破壞性量測的主要技術，舉凡微小位移 量的量測、折射率、光學元件的表面形狀及平整度，都廣泛的使用到干涉術。在 本章節中將詳細的介紹干涉術原理、移相術原理、相位調制法、相位演算法及相 位重建。 2.2 干涉術原理[6,7] i i 設有兩道光若其振幅分別為 u1 U1 ⋅e φ1 以及u2 U2 ⋅e φ2 ，當兩道光在空間中 合併在一起時，會有干涉現象出現，而這兩道光合併的光強度為 : I U 2 =+U 2 +2U ⋅U cos(φ −φ ) 1 2 1 2 1 2 I =+I +2 I I cos(Δφ) (2.1) 1 2 1 2 其中I 1 U12 、I 2 U22 以及Δφ=φ −φ 。Δφ為這兩道光的相位差，此相位差可以