微纳米测量技术第二章形状位置误差测量技术.pdfVIP

《微纳米测量技术》课程之-- 第2章 形位误差测量技术 直线度、平面度、垂直度、角度 精密工程研究所 赵学森 精密工程研究所 赵学森 2011年2月24 日 哈尔滨工业大学精密工程研究所 2011年2月24 日星期四 超精密测量技术部分课程主要内容 1 学习目的、发展动态与应用 2 微纳米几何参量测量技术 3 精密加工表面质量测量技术 三部分 4 纳米测量技术 参考书 1 精密和超精密加工技术(第2版) ，机械工业出版社，袁哲俊，2007 2 表面粗糙度标准及其应用，中国计量出版社，俞汉清 3 直线度平面度测量技术，中国计量出版社，张善钟 4 圆度检测技术，国防工业出版社，曹麟祥 5 激光测量技术，天津大学出版社，孙长库、叶声华，2001 6 微纳米测量技术清华大学出版社王伯雄， 2006 7 精密和超精密加工在位检测与误差分离技术，国防科技大学出版社，李圣 怡，2008 哈尔滨工业大学精密工程研究所 - 2 - 2011年2月24 日星期四 Center for Precision Engineering HIT 第2章 形位误差测量技术 上一章主要内容回顾： 一 测量技术(这里指几何参数测量技术)概述 (两个特点) 二研究微纳米(超精密)测量的目的意义 (表达制造精度) 三超精密测量技术(与仪器) 的发展动态 (5个方面) 四超精密测量技术的研究内容 (用7次课程讲授) 问：精密测量技术有哪两个显著特点？ 哈尔滨工业大学精密工程研究所 - 3 - 2011年2月24 日星期四 Center for Precision Engineering HIT 上一章主要内容回顾： 超精密测量技术的发展趋势主要体现在以下5个方面： (1)新型测量方法与测量仪器的发展 (2)超高精度纳米测量与计量溯源 (3)在线测量及测量与加工的集成 (4)复杂形状、大尺寸、纳米(小)尺寸、新的被测参 数研究等测量功能的扩展 (5)软件功能的不断完善，反求工程的应用等 问：超精密测量技术的发展方向 哈尔滨工业大学精密工程研究所 - 4 - 2011年2月24 日星期四 Center for Precision Engineering HIT 超精密测量技术内容： (1)形位误差测量技术--直线度、平面度、垂直度 (今天内容) (2)形位误差测量技术--圆度、圆柱度、回转精度 几何参量 (3)形位误差测量技术--面轮廓度即表面形状 (4)表面质量参数测量技术--表面粗糙度测量 (5)表面质量参数测量技术--表面波纹度及其他测量 表面质量 (6)超精密机床制造和装配中的测量技术 (7)纳米测量技术 纳米测量 哈尔滨工业大学精密工程研究所 - 5 - 2011年2月24 日星期四 Center for Precision Engineering HIT 第2章 形位误差测量技术(1) 本章主要内容： 1 关于形位误差 2 直线度测量