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天津理工大学纳米材料与技术研究中心 第五章：纳米结构与纳米器件技术 第一阶段：纳米晶或纳米相材料 第二阶段：纳米纳米复合材料的设计、制备与性能 第三阶段：纳米材料的可控制备、纳米结构的组装体系 纳米材料在结构、维度、尺寸、位置、取向等方面的控制； 以纳米尺度的物质单元（如团簇、纳米颗粒、纳米管、纳米 线、纳米棒、纳米带和纳米孔等）为基础，按一定规律构筑 或营造一种新的体系，它包括一维、二维、三维体系。 从微米到纳米的科技飞跃 过 去 毫 米 微 米 传统的科学技术 现 在 微 米 纳 米 新效应、新概念、新技术 未 来 微 米 纳 米 毫 米 功能元件组装 更新颖、更复杂 多学科的交叉 从纳米材料到纳米器件 纳米材料 纳米结构 纳米器件 可控制备技术 纳米组装和 自组织生长 集成技术 纳米材料的性质与其结构、尺寸和聚集状态密切相关 通常所制备的纳米材料是相互缠绕、随机取向、无规则分 布，且有较宽的尺寸分布，表现出的是一个统计平均性 质。 从性能研究来看 纳米材料尺寸均一、结构可控、高度分散 从纳米材料器 要能定向、定位生长，要能 件化角度来看 集成和组装在适当的基体上 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 如何控制生长纳米材料与纳米结构 如何有效集成纳米材料器件 由大到小(top down) 指从体材料出发，利用纳米光 刻技术与薄膜生长等相结合技 术制备纳米结构和纳米器件 两条可能的制造纳 米器件的技术路线 主要是指按人们需要用一个 个原子或一个个分子组装出 所需的纳米材料和纳米结构 由小到大(bottom up) 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 按摩尔定律，以硅材料为主的微电子到2011年的 最小尺寸80nm ，将达到物理极限，面临电子器 件发展的第二次变革⎯进入以各种量子效应为基 础的纳电子器件。 微电子器件制造基于光刻技术，光刻技术的线宽 极限为80nm，不适合纳米器件的制造 电子束、X -射线光刻技术，成本高，没有合适 的掩膜模板 “构筑砖块” 由 原子、分子 小